标签为“中国”的页面如下 中国制造的炉子工厂 在光刻车间 在软烘焙过程中,半度的漂移足以使你的线宽变化纳米级别。如果硬烘焙的温度稍微过高,你将会烘烤出缺陷,最终影响到测试结果。如果你在追求良率,“温暖”就不够了。你需要一个能够保持晶圆级均匀性的加热器——在Class 1–100的洁净室内,稳健地、每班次都保持一致。 底层的重要性 我们将工厂加... Read more...
中国制造的炉子工厂 在光刻车间 在软烘焙过程中,半度的漂移足以使你的线宽变化纳米级别。如果硬烘焙的温度稍微过高,你将会烘烤出缺陷,最终影响到测试结果。如果你在追求良率,“温暖”就不够了。你需要一个能够保持晶圆级均匀性的加热器——在Class 1–100的洁净室内,稳健地、每班次都保持一致。 底层的重要性 我们将工厂加... Read more...