替代热板的红外线加热器

在晶圆制造过程中，哪怕只是几分之一度的温度变化，都可能让光刻胶的固化效果出现偏差。这样一来，生产线就会停止运转，颗粒数量也会增加，最终导致成品率下降。我们设计的红外线加热器可以有效消除这种温度波动，从而确保每次生产过程中的温度都保持在理想范围内。 该加热器的核心是短波红外线发射器，其波长与常见光刻...