MEMS传感器晶圆干燥加热器

使用红外加热技术来干燥MEMS传感器晶圆 如果你曾经从事过MEMS器件的制造工作，那么你一定知道，在湿法蚀刻或清洗之后去除残留水分是多么麻烦的一件事。这无疑是一个巨大的瓶颈。大多数人只是把晶圆放入对流烤箱中加热，但这样一来，就相当于为了加热一块披萨而让整个房子都变热，这无疑是一种极大的能源浪费。...