标签为“纯度”的页面如下 UHP 超高纯度 加热灯 为何定向红外加热对UHP半导体工艺至关重要 大多数加热元件都会向各个方向散发热量——360度全方位释放能量。在半导体制造中,这显然是个问题。因为大量电能被浪费在加热机器内部结构上,而非用于加热实际需要加热的部件。更糟糕的是,这样的设计还会使设备外壳变得过热,存在安全隐患。 我们则采取了不同的方式。... Read more...
UHP 超高纯度 加热灯 为何定向红外加热对UHP半导体工艺至关重要 大多数加热元件都会向各个方向散发热量——360度全方位释放能量。在半导体制造中,这显然是个问题。因为大量电能被浪费在加热机器内部结构上,而非用于加热实际需要加热的部件。更糟糕的是,这样的设计还会使设备外壳变得过热,存在安全隐患。 我们则采取了不同的方式。... Read more...