用于半导体加热器的热电偶

停止让加热元件直接加热腔壁吧 大多数加热元件的工作方式都很麻烦——它们会向四周散发热量，360度全方位地释放能量。在空间有限的半导体生产环境中，这显然是个问题。那些昂贵的腔壁会被不必要的热量所损坏。 这无疑会导致灾难性后果：敏感的部件可能会被烧毁，而操作人员则不得不面对过热且不安全的机器。 我们采...