반도체 청정실용 트롤리 히터

와이퍼를 따뜻하게 유지하기: 스마트 트롤리용 적외선 히터의 진실 현대적인 반도체 제조 공장을 운영한다면, 온도 변동이 큰 문제라는 것을 잘 알고 있을 것입니다. 와이퍼를 한 곳에서 다른 곳으로 옮길 때, “충분히 따뜻하다”는 수준으로는 안 됩니다. 와이퍼가 항상 일정...