공장 히터용 전원 케이블

반도체 제조 현장에서 히터는 단순히 챔버를 가열하는 역할을 하지 않는다. 히터는 포토레지스트 소프트 베이크와 하드 베이크, 웨이퍼 세정 및 건조 공정, 그리고 온도 편차가 오버레이 오차 및 CD 바이어스로 나타나는 모든 단계의 열 기준선을 설정한다. 이 히터에 전력을...