포토레지스트 건조 램프

리소그래피 공정에서는 약간의 오차만 있어도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 소프트 베이크 과정에서 단 0.5도 정도의 오차가 생기면, 치수 값이 나노미터 단위로 변하게 됩니다. 한 번 잘못된 제품이 생기면 며칠 동안 그 대가를 치러야 합니다. 우리는 바로 이러한...