熱の無駄遣いをやめよう：なぜ金コーティングされたIRランプが効果的なのか
半導体製造工場では、無駄になるエネルギーはすべて、無駄に消えてしまうお金と同じです。ほとんどのIRランプは効率が悪く、熱があらゆる方向に放出されますが、実際に重要なのはウェハ表面だけです。
私たちはこの問題を解決することにしました。ランプに金コーティングを施すことで、物理法則を自分の都合の良い方向に利用できるのです。これにより、単純な発光体が、はるかに精密な装置に変わります。
なぜ金なのか？
それは見た目の問題ではありません。赤外線領域において、金は反射率が非常に高い素材です。
つまり、熱が機械の本体内部に戻ってしまうのを防ぎ、金層が壁のように機能して、光子を前方に跳ね返すのです。その結果、ウェハの必要な場所にエネルギーが集中して当たるのです。
正確な焦点の設定
これは単なる鏡を管に貼り付けただけのものではありません。金層の厚みや純度にも細心の注意を払っています。そうすることで、短波長のIRエネルギーが妨げられることなく通過できるのです。
その結果、プロセス温度が速く上昇します。熱密度も大幅に上がり、最善の点は、電源の出力を上げる必要がないということです。
注意すべき点
熱がウェハに急速に届くため、注意が必要です。PIDコントローラを確認しましょう。そうしないと、オーバーシュートや熱衝撃が起こる可能性があります。
また、大量のエネルギーが前方に送られるため、ランプ自体が急速に熱くなります。管の端が壊れないように、冷却ファンの動作をしっかりチェックしてください。
古いラインをアップグレードする場合、これらは簡単です。既存の電源に接続するだけで済みます。最初の数回の運転時は、表面センサーをしっかり監視しましょう。放射エネルギーの違いはすぐに分かります。