半導体製造において、熱管理は非常に重要です。しかし、真にカーボンニュートラルを実現したいのであれば、エネルギーが無駄に消費される箇所をなくす必要があります。私たちにとって、それは赤外線加熱システムのケースに焦点を当てることを意味します。もし熱がクリーンルーム内に漏れ出してしまうと、それは単にお金や二酸化炭素を無駄にしているようなものです。
適切な材料が重要です。 私たちは、このようなケースには304または316Lステンレス鋼を使用しています。なぜかというと、この材料はガスを放出しないうえ、高温になっても変形しないからです。内部では、研磨された反射板を使って、短波長の赤外線をウェハーに直接当てるようにしています。
簡単に言えば、熱が正確に必要な場所に届けば、損失分を補うために出力を上げる必要はありません。ウェハーあたりの消費電力が少なくなります。これが最もシンプルな方法です。
形状を正しく設計することが大切です。 ケースの形状は、熱がどれだけ集中するかを決定します。私たちは、ランプと対象物との間の隙間をできるだけ小さくするように設計しています。隙間が狭ければ、温度が上がるのも早くなります。部品の周囲の空気を温めるために電力を無駄にすることもありません。また、精密な取り付けブラケットを使用することで、焦点を崩さずにランプを交換できます。もし位置が数ミリしかずれていると、効率が大幅に低下します。
高密度の熱の現実 高出力の赤外線システムは、金属に大きな負荷をかけます。長時間使用すると、ステンレス鋼が膨張します。その動きに対応するために、スロット付きの取り付け穴を使用して、ケースが圧力で壊れないようにしています。
しかし、施設の冷却機能がその集中した負荷に耐えられるかどうかを確認する必要があります。そうでなければ、実際には二酸化炭素を削減しているわけではなく、加熱器の負担をHVACシステムに移しているだけです。
ケースが適切に作られていれば、標準的な赤外線ランプは単なる部品ではなく、精密なツールとなります。これにより、生産ラインの遅延を招くことなく、グリーンファクトリーの目標を達成できます。