クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
クラス100のクリーンルームを運営していると、わずかな粒子があっただけでも大変な問題になります。わずかなほこりやガス漏れだけで、ウェハーや光学部品は使い物にならなくなってしまいます。本当に厄介です。
通常の加熱要素は、こうした問題の原因となります。それらは剥がれたり、化学物質を漏らしたりします。私たちは、高純度の合成石英管と炭素繊維製の加熱要素を組み合わせることで、より良い解決策を見出しました。
なぜこの材料の組み合わせが効果的か
高純度の石英を選んだ理由は、高温に耐えられ、割れたりほこりになったりしないからです。そして、炭素繊維フィラメントは真空封入されています。これが秘訣であり、金属フィラメントが時間とともに劣化したり剥がれたりするのを防ぎます。安価な接着剤や奇妙なコーティングは一切不要です。純粋で安定した熱が得られ、空気中に粒子が放出されることもありません。
性能についての詳細
これらのランプは、非常に高い熱密度を生み出します。炭素繊維コアのおかげで、機器が温まるのを待つ必要がありません。これにより、時間とエネルギーを節約できます。また、正確なワット数を設定することで、基板全体に均一な熱が行き渡ります。
電源についての注意点
高密度の赤外線ランプは多くの電流を消費します。大量に設置する場合は、配線やブレーカーをしっかり確認してください。途中で電圧が下がってしまうと、均一な加熱ができず、多くの材料が無駄になってしまいます。
ラインに取り付ける方法
これらのランプは、既存のIR装置と交換するだけで簡単に取り付けられます。石英のケースが遮断壁の役割を果たし、加熱要素をクリーンルームの空気から完全に隔離します。
しかし、注意点があります。高純度の石英は硬いので、扱い方に注意が必要です。取り付け時に少しでも不注意な動作をすると、管が割れてしまいます。そのため、柔らかいマウントブラケットを使用することを強くお勧めします。そうすれば、加熱時に素材が拡張でき、ガラスに過度な負荷がかからないのです。