クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
もしクラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、粒子が飛び散ってしまうという問題をご存知でしょう。ヒーターから出るわずかな破片だけでも、作業中の製品は台無しになってしまいます。一般的な抵抗式ヒーターでは、このような状況に対応できません。ガスが漏れたり、表面が剥がれたりしてしまうのです。これはクリーンルームにとって大惨事です。
そのため、私たちは高純度の合成石英を使った赤外線ランプを使用します。破片が出ないし、汚れも発生しません。
なぜ石英が最適なのか
私たちが使用するのは融着石英です。これは非常に耐久性が高く、強い熱衝撃にも耐えられます。また、不純物が空気中に漏れ出ることもありません。
金属製のヒーターを考えてみてください。それらは酸化したり、表面が剥がれたりしますが、石英はそういうことはありません。石英は赤外線を通じてエネルギーを放出するため、周囲の空気を加熱するだけではありません。これにより、空気の流れが安定し、ウェーハやセンサーが汚れることもありません。
電力の調整
単に電源を入れるだけではいけません。そうすると、石英が割れてしまう可能性があります。私たちはデジタル式の赤外線ドライヤーコントローラーを使って、徐々に電力を上げていきます。急激な電圧変動があると、フィラメントが壊れてしまいます。温度が不安定にならないようにするには、PID制御が最適です。
もう一つ、注意点があります。これらの高ワット数のランプは大量の熱を発生させます。もしランプ同士を近づけすぎると、筐体が壊れてしまいます。必ず、冷却ファンが全体的なワット数に対応できるか確認してください。そうしないと、支持フレームが歪んでしまいます。
設置と維持
最良の点は、これらのランプはほとんどの赤外線アレイと互換性があることです。私たちは精密なコネクタを使って、電気的な接続をしっかりと保ちます。ここでは、緩んだ配線は絶対に避けるべきです。緩んだ配線はアークを引き起こし、その結果、煤が発生します。クリーンルームでは、わずかなアークでも、これまでの努力が水の泡になってしまいます。
清掃に関しては、イソプロピルアルコールと綿棒を使えば十分です。
**指には気を付けてください。**石英に指紋が残ると、加熱されるとその油分がガラスに焼き付いてしまいます。そうすると「ホットスポット」ができ、ランプが本来の寿命よりも早く壊れてしまいます。