乾燥ラインでの熱の無駄遣いを止めましょう。
もしウェーハ乾燥ラインに対してエネルギー審査を行ったことがあるなら、問題がどこにあるかよくわかるでしょう。それは、ランプと基板上の位置の間の隙間です。
一般的な反射器では、赤外線エネルギーがあちこちに散らばってしまいます。ウェーハに当たる代わりに、その多くの熱がチャンバーの壁に跳ね返ってしまいます。これは完全な無駄遣いです。だからこそ、私たちは金メッキされた反射器を使用するのです。
なぜ金なのか？
それは、赤外線をどのように扱うかという点にあります。金は、アルミニウムやステンレス鋼よりも長波長および中波長のエネルギーをより効果的に反射できます。
アルミニウム自体は悪くないですが、ファブ内の高温環境には弱く、劣化してしまいます。一方、金は酸化しないため、性能が安定します。つまり、ウェーハに届くエネルギー量が増え、壁には余計な熱が行かないのです。
さらに、熱を無駄に散らばらせることもありません。反射器の形状を工夫して、エネルギーを集中させるのです。そうすれば、ランプの出力を上げる必要なく、表面の熱密度を高めることができます。
デメリット
もちろん、コスト面でのTrade-offはあります。金は安くないので、初期費用は高くなります。しかし、長期的に見れば運用コストを削減できる方法と考えるべきです。
もう一つ、金は繊細です。ファブ内に有機物や化学物質の蒸気があると、表面にごみが付着して反射率が低下してしまいます。常に清潔に保つ必要があります。そうでないと、お金を無駄にしてしまいます。
ファブに導入する方法
良いことに、これらは通常、既存のハウジングにそのまま取り替えることができます。全てを再構築する必要はありません。
焦点をウェーハの平面に合わせるだけです。そうすれば、300mmの表面全体に均等に熱が行き渡り、基板が変形することもありません。
乾燥システムを選ぶ際には、単に熱が必要だからといってランプを増やすのではなく、反射器の効率に重点を置くべきです。熱を本来あるべき場所、つまりウェーハに送るのです。