半導体の製造には多くの熱が必要であり、高い精度も求められます。しかし、依然として従来の抵抗加熱方式を使っている場合、実質的にはウェーハ自体ではなく部屋の空気を温めるためにお金を払っていることになります。これは非効率的で、エネルギーコストもかかります。
そこで役立つのが短波長のIRランプです。このランプは、周囲全体を温めるのではなく、熱を直接ウェーハに集中させます。つまり、直接的な加熱が可能なのです。
なぜ短波長か？ スロークッカーと急速加熱器の違いを考えてみてください。短波長の発光体はより高温で動作し、より少ないスペースに多くのエネルギーを込めることができます。その結果、目標温度に到達するのがずっと早くなります。熱がウェーハに浸透するまで長時間待つ必要もありません。非常に迅速です。そして、それによって、1枚のウェーハあたりに必要なキロワット時数も大幅に減少します。
難しい点：ハードウェア ただ単に「プラグ＆プレイ」で済むわけではありません。こんなに大きな電力を狭い範囲で使う場合、部品や装置自体が過熱してしまいます。冷却システムをしっかり管理しなければ、装置がすぐに壊れてしまいます。私たちの経験では、このようなランプを固体PIDコントローラーと組み合わせることが、状態を安定させ、ウェーハの過熱を防ぐ唯一の方法です。
実際に「グリーン化」する 「グリーンファクトリー」という言葉は企業のスローガンのように聞こえますが、実際には無駄を削減することを意味しています。IRを利用すれば、巨大な予熱オーブンは不要になります。部品が所定の位置に置かれた瞬間だけ加熱を行えばよいのです。無駄なエネルギーの使用もなくなります。
ただし、注意点もあります。電源装置の初期費用が高くなり、また、石英管を常に清潔に保つ必要があります。汚れてしまうと、効率が下がり、節約効果もなくなってしまいます。ガラスを清潔に保てば、システムが自動的に適切な処理を行ってくれます。