真空室红外加热器

确保晶圆的安全：为何加热器设计如此重要 如果你们正在进行高负荷的半导体生产，那么肯定明白那种糟糕的情况——真空室内的灯管突然损坏了。这不仅仅是生产流程中断的问题，因为当石英管破裂时，它就像一颗玻璃弹珠一样，其碎片和金属碎屑会溅到晶圆上，导致整批晶圆报废。简直是一团糟。 我们专门设计了这种真空红外加...