在化学处理环境中确保红外灯的安全使用
说实话，清洁晶圆处理工具其实是一项极其危险的工作。因为要处理的都是易挥发、易燃的溶剂，这些物质极不稳定。如果在这样的环境中使用普通的红外灯，那无异于自找麻烦。哪怕只是一个小火花，或者高温表面接触到溶剂蒸汽，都可能引发严重的爆炸事故。
因此，我们不会简单地“使用”红外灯，而是采取有效的防护措施。我们会使用专门的密封结构，将发热元件与周围的空气完全隔离开来。
密封机制的原理
我们并不会只是用塑料把灯泡包起来就算完事。我们会使用密封性极好的石英外壳，再加上坚固且耐化学腐蚀的外层保护罩。这样，那些具有腐蚀性的气体就无法渗透进灯泡内部。
真正的关键在于密封装置。我们会使用高温密封垫以及特殊的填充材料来固定电线。这样一来，就没有任何气体能够进入电气部件内部了。
应对恶劣环境
化学清洗环境极为恶劣，各种腐蚀性物质会侵蚀各种材料。我们选择的组件必须能够在接触强效溶剂的情况下依然保持完好无损。
外层保护套则能够承受反复的加热和冷却而不出现裂纹。因为一旦保护套损坏，灯泡就会立刻失效。此外，我们还尽量让整个装置保持紧凑，这样就可以将其放入狭窄的晶圆处理设备中，而不会影响空气流动。
需要付出的代价
当然，这样的防护措施并非没有成本。由于灯泡与晶圆之间多了这一层保护结构，红外光的强度会有所下降。因此，你可能需要提高灯泡的功率，或者给它更多的时间来达到目标温度。此外，你还需要调整PID控制器，以应对额外的热量问题。
不过，总体来说，这是一种值得的交换。你可以得到一种能够在恶劣环境下正常工作的灯泡，更重要的是，它还能防止化学处理区域发生火灾。