化学処理を行う環境でIRランプを安全に使うために
正直に言って、ウェーハ処理用のツールを清掃するのは非常に危険な作業です。そこでは不安定で可燃性の高い溶剤が使用されるため、注意が必要です。もし通常のIRランプをそのような環境で使用すれば、問題が起きる可能性が高くなります。ちょっとした火花や高温の表面が溶剤の蒸気に触れるだけで、大規模な爆発が起こり得ます。
だからこそ、私たちは単にランプを使うだけではなく、それをしっかりと保護します。特殊な封止システムを使用して、発熱体を周囲の空気から完全に隔離します。
封止の仕組み
単にランプをプラスチックで包むだけではありません。密閉性の高い石英製の容器と、耐化学薬品性の高い外側のシールドを使用します。これにより、腐食性のある蒸気が筐体を侵食するのを防ぎます。
本当の魔法は封止部分にあります。高耐熱性のガスケットや、配線が通る部分に特別な樹脂を使用しています。これにより、ガスが電気部品の内部に入ることはありません。
過酷な環境での耐久性
化学処理を行う環境は非常に過酷です。そこでは材料がすぐに劣化してしまいます。私たちは、強力な溶剤に浸しても劣化しないような部品を使用しています。
外側のスリーブは、絶え間ない加熱や冷却に耐えられるように作られています。もしスリーブが壊れてしまうと、ランプが汚染されて即座に故障してしまいます。また、全体のサイズもコンパクトにしてあります。これにより、ウェーハ処理用のツールに簡単に取り付けることができ、空気の流れを妨げることもありません。
妥協点
もちろん、このような保護機能には代償が伴います。熱伝達が少し遅くなります。ランプとウェーハの間に余分な保護層があるため、直接のIRエネルギーが少し低下します。そのため、目標温度に到達するためには、ワット数を上げたり、少し時間をかけたりする必要があります。また、PIDコントローラーの設定も調整する必要があります。
しかし最終的には、それは適切な妥協です。クリーンルームでの過酷な条件に耐えられるランプが手に入り、何よりも化学処理室が火事になるのを防ぐことができます。