化学的な洗浄を行う際にウェーハを加熱するというのは、文字通り火遊びのようなものです。周囲には可燃性や爆発性のある蒸気が漂っているため、単純に石英ランプを化学液の中に入れておくだけでは危険すぎます。それは災害を招く行為です。
安全を確保するために、私たちは2つの点に重点を置きます。1つ目は、適切な距離を保つこと、2つ目は、すべてをしっかりと密封することです。
熱の管理 ランプと化学物質との間の距離は、単なる任意の数値ではありません。それは重要な境界線です。IRランプからは強力な放射線が放出されるため、もしランプの表面やその周囲の空気が過度に高温になってしまうと、化学物質の蒸気が瞬時に燃え上がってしまいます。
私たちは、ランプのワット数や使用する化学物質の蒸気圧に基づいて計算を行います。確かに、ランプを近づければより迅速に加熱できますが、その代わりにランプのケースが溶けてしまう危険もあります。だからこそ、冷却システムは十分に強力でなければならず、そうでなければ密封部分が破壊されてしまいます。
密封 次に、封止の問題です。私たちは単にランプを覆うだけでなく、特殊な石英と金属を使った密封技術や頑丈なケースを使用します。
ここでの目的は、電気部品を腐食性のある空気から守ることです。電極や配線は、酸性の蒸気に耐えられる高品質の絶縁体で覆われています。これにより、放電が起こるのを防ぎます。爆発性の環境では、たった一つの火花でも大惨事を引き起こす可能性があります。
トレードオフ しかし、IR光源とウェーハの間に保護層を設けると、熱が少し失われてしまいます。そのため、目標温度に到達するためには、出力を上げたり、ウェーハを長く加熱したりする必要があります。しかし、工場が爆発しないようにするためには、この程度の犠牲は必要です。私たちは、化学的な事故を避けるために、多少遅くても構いません。安定した温度管理ができ、何よりも、仕事が終わったら家に帰れるという利点があります。