ウェーハ硬化用ランプが爆発しないようにするために
ウェーハ硬化用ランプは、基本的には非常に高温を発する装置です。高電圧で動作し、極度に熱くなります。絶縁体が破損したり、電流が漏れ出したりすると、単にブレーカーが切れるだけでは済まされません。シリコンウェーハが破壊され、生産ラインも停止してしまいます。これは誰も望まない悪夢です。
だからこそ、私たちは反射板やランプアセンブリの電気的整合性にこだわるのです。
なぜすべてのランプをテストするのか
私たちは「サンプル検査」は行いません。10個中1個だけをテストして、うまくいくことを願うのではありません。すべてのランプチューブは、工場を出る前に完全なヒップотテストや絶縁抵抗テストを受けます。
具体的には、実際の使用環境よりもはるかに高い電圧をランプにかけます。なぜかというと、隠れた欠陥を明らかにしたいからです。クォーツ内の微細な亀裂や、反射板に付着したほんの少しの汚れでも、後で大きな問題を引き起こす可能性があります。今から限界まで負荷をかけることで、実際にラインに接続した時に問題が起きないようにするのです。アークや短絡、予期せぬトラブルが起きないようにするのです。
熱対策
高ワット数のランプは大量の熱を発生させます。その熱によって電気接続部がダメージを受け、接地にも大きな負担がかかります。
もしシステムが高電圧に対応していない場合、使用する部品は耐久性が必要です。そうでなければ、電流が漏れ出します。それは些細なことのように思えますが、工程の温度を乱したり、最悪の場合は完全な電気的故障を引き起こしたりする可能性があります。私たちは、絶縁体が十分に耐えられるようにしておきます。
実際の状況を考えると…
このような厳格なテストを行うには時間がかかります。それによって生産サイクルが遅くなります。また、低い負荷環境下では問題なく動作しても、実際の工業的な状況では壊れてしまう製品も捨てざるを得ません。
しかし、私たちの側の対策だけでは不十分です。お客様の機械の接地も同じく重要です。もし筐体の接地が不十分だと、完璧なランプであっても浮遊電圧が発生してしまいます。
配線をきれいに保ち、接地端子をしっかり固定し、製造元の仕様に従えば、問題はありません。