クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つためには、何が何でもミスを犯してはいけません。わずかなガスの漏れや微小な粒子があっただけで、シリコンの品質が著しく低下してしまいます。これは本当に厄介です。一般的な加熱要素では、微細な汚れが発生し、すべてを台無しにしてしまいます。
だからこそ、私たちはIRランプに高純度の合成石英を使用しているのです。
石英が重要な理由
私たちが使用しているのは、不純物がほとんど含まれていない融解石英です。なぜでしょうか？それは、高温になると安価なガラスが壊れてしまうからです。この石英チューブは要塞のように機能し、タングステンフィラメントをウェハから隔離してくれます。また、この材料は化学的に不活性なので、安価なチューブで見られるような「ほこり」の問題もありません。これが、高温処理を行う際に空気を純粋に保つ唯一の方法です。
実際に効果的な熱
私たちのランプは短波放射を利用しています。ウェハの周囲の空気を温めるのに時間を浪費する代わりに、熱が直接ウェハの表面に伝わります。非常に速いのです。そのおかげで、ウェハ全体の温度が均一に保たれます。
ただし、注意点があります。大量のワット数を狭い空間に詰め込んでいるため、冷却システムをしっかりと設計する必要があります。もし空気の流れが弱すぎると、ランプの端部が過熱して燃えてしまいます。誰も、作業中にそんなことに直面したくはありません。
設置方法
これらのランプは標準的な接続部品を使って作られているので、既存の機器に簡単に取り付けられます。密封性も高いので、ハロゲンガスが漏れ出る心配もありません。
配線する際のヒント：接点を常にきれいに保ってください。端子に酸化があると、熱点が発生し、石英が壊れる原因になります。また、ランプのスペクトル出力がウェハの材料に合っているかを確認してください。そうすれば、エネルギーの無駄遣いを防ぎ、純度を損なうことなく、プロセスを効率的に進めることができます。