अपने उपकरणों को गर्म न करें: IR ऊष्मा से निपटने का बेहतर तरीका
यदि आपने कभी सेमीकंडक्टर चैंबर में उच्च-शक्ति वाले हीटिंग उपकरणों का उपयोग किया है, तो आपको इसकी कठिनाइयों का पता होगा। वेफर को वांछित तापमान तक पहुँचाना तो आसान है… लेकिन बाकी उपकरणों को गर्म न होने देना ही वास्तविक चुनौती है।
ज्यादातर IR लैंप, ऊष्मा को हर दिशा में फैला देते हैं… इससे बहुत ऊर्जा बर्बाद हो जाती है, एवं उपकरणों की आंतरिक सतहें भी क्षतिग्रस्त हो जाती हैं।
हम ऐसा नहीं करते… हम दिशात्मक, ओजोन-मुक्त IR लैंपों का उपयोग करते हैं… जिससे ऊष्मा सीधे वांछित स्थान पर ही पहुँचती है।
दिशात्मक हीटिंग का तरीका
इसे बल्ब एवं टॉर्च के बीच के अंतर के रूप में समझें… सामान्य लैंप, फोटॉनों को हर दिशा में फैला देते हैं… लेकिन दिशात्मक लैंप, क्वार्ट्ज आवरण या आंतरिक परावर्तकों का उपयोग करके ऊष्मा को केंद्रित करते हैं।
इससे ऊष्मा केवल वांछित स्थान पर ही पहुँचती है… यह दो कारणों से बहुत ही लाभदायक है… पहला, ऑपरेटरों को चोट लगने का खतरा नहीं रहता… दूसरा, उपकरणों की सतहें भी क्षतिग्रस्त नहीं होतीं।
ओजोन समस्या से निपटना
ओजोन समस्या भी है… शॉर्ट-वेव लैंप, UV किरणें उत्सर्जित करते हैं… जिससे ओजोन बनता है… क्लीनरूम में यह बहुत ही खतरनाक है… ओजोन, सीलों को नष्ट कर देता है, एवं रासायनिक प्रक्रियाओं को भी प्रभावित करता है…
हमारे क्वार्ट्ज फिल्टर, ऐसी UV किरणों को रोक देते हैं… आपको पूरी ऊष्मा मिलती है… लेकिन कोई गैस नहीं… बहुत ही सरल।
कुछ बातें ध्यान में रखें
आप ऐसे लैंपों को किसी भी उपकरण में ऐसे ही नहीं लगा सकते… क्योंकि ऊष्मा बहुत ही केंद्रित होती है… इसलिए आपको लक्षित सतह पर विशेष ध्यान देना होगा… यदि आप कम पिघलनांक वाली सामग्रियों का उपयोग कर रहे हैं, तो आपको हॉटस्पॉट्स से बचना होगा…
मेरी सलाह है: अपने PID कंट्रोलरों एवं सेंसरों को ऐसे ही सेट करें, ताकि वे लक्षित सतह पर ही ध्यान दें… न कि उसके आसपास की हवा पर…
और कृपया, अपने वायरिंग हेतु उच्च-तापमान वाले वायरों का ही उपयोग करें… बंद जगहों में गर्म होने वाले इन्सुलेशन से बदतर कुछ भी नहीं है… यदि आप 2000 वाट से अधिक ऊर्जा का उपयोग कर रहे हैं, तो आपको अपने कूलिंग फैनों को ऐसा ही सेट करना होगा, ताकि वे चैंबर में हवा को ठीक से संचालित कर सकें…
यहाँ वेंटिलेशन केवल “अच्छा होने” वाली चीज नहीं है… बल्कि यह आवश्यक ही है।