कैटालिस्ट प्रसंस्करण प्रक्रिया में, 15 मिनट तक चलने वाली इस लैंप की मदद से पिछले प्रसंस्करणों में हुए सुधारों का असर खत्म हो जाता है। परतों की एकरूपता बिगड़ जाती है, कणों की संख्या बढ़ जाती है, एवं कैटालिस्ट परत वांछित स्तर तक नहीं पहुँच पाती। हमने ऐसी ही एक लैंप बनाई है, ताकि ऐसी स्थितियाँ ही न उत्पन्न हों।
आंतरिक कार्यप्रणाली
यह लैंप नियर-इन्फ्रारेड (NIR) लैंपों पर काम करता है; इसका स्पेक्ट्रम ऐसा है कि यह विलायकों को जल्दी ही निकाल सके, बिना कैटालिस्ट की संरचना को नुकसान पहुँचाए। वेफर पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है, एवं सेटपॉइंट की पुनरावृत्ति ±0.5°C पर ही होती है। 7×24 घंटे तक चलने पर भी आउटपुट स्थिर ही रहता है। फील्ड यूनिटों में यह लैंप 5,000+ घंटे तक काम कर चुका है, एवं इसकी कार्यक्षमता में 5% से भी कम की कमी आई है। क्लीनरूम की व्यवस्था भी इस लैंप का ही हिस्सा है; प्रक्रिया के दौरान कोई कण ही नहीं आता, एवं ऑप्टिकल पथ भी सील्ड होता है, ताकि गैसें एवं प्रदूषक बाहर न जा सकें।
यह प्रक्रिया के लिए क्यों उपयुक्त है?
कैटालिस्ट का सुखाना तेज़, स्वच्छ एवं पुनरावृत्तीय होना आवश्यक है। NIR तकनीक की मदद से बिना किसी संपर्क के ही तापीय प्रतिक्रिया प्राप्त होती है; इससे प्रक्रिया का समय कम हो जाता है, एवं कैटालिस्ट की संरचना भी बरकरार रहती है। फोटोरेजिस्ट-स्तरीय ताप नियंत्रण से प्रत्येक बैच में समान परिणाम प्राप्त होता है।
व्यावहारिक बातें
यह लैंप मानक आकार में ही उपलब्ध है, लेकिन फिर भी सब्सट्रेट स्टैक के तापीय गुणों की जाँच आवश्यक है। यदि आप मोटे या उच्च-ताप-द्रव्यमान वाले सब्सट्रेटों का उपयोग कर रहे हैं, तो NIR ऊर्जा घनत्व एवं समय को ठीक से निर्धारित करें, ताकि कोई समस्या न हो। क्लीनरूम की व्यवस्था भी ठीक से करें – एक्जॉस्ट एवं शील्डिंग को लैंप की विशेषताओं के अनुरूप ही रखें। जब आसपास की हवा एवं कण नियंत्रण ठीक रहता है, तभी ही प्रक्रिया पुनरावृत्तीय हो पाती है।