बर्न-इन प्रक्रिया में, तापमान कोई सामान्य सेटिंग नहीं है; बल्कि यही वह प्रक्रिया है जिसके द्वारा वेफरों का परीक्षण किया जाता है। कुछ डिग्री का अंतर भी छिपे हुए दोषों को उजागर कर सकता है… या फिर ऐसी स्थिति पैदा कर सकता है जिससे वे वेफर अमान्य माने जाएँ, जबकि उन्हें तो भेजा ही जाना चाहिए। हमने अपने वेफर-बर्न-इन हीटिंग लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है, ताकि ऐसी अनिश्चितताओं से बचा जा सके।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
यह लैंप, वेफरों पर नियर-इन्फ्रारेड (NIR) रश्मियों का उपयोग करके तेज़ एवं सीधे तरीके से ऊष्मा प्रदान करता है… एवं थर्मल मास को कम रखता है। हम वेफरों पर ±0.1°C की सीमा में एकसमान तापमान बनाए रखने की कोशिश करते हैं… ताकि कोई अतिरिक्त ऊष्मा न पैदा हो। इस लैंप का एमिटर एरे क्वार्ट्ज एवं सिरेमिक सामग्री से बना है… एवं इसकी सतहें ऐसी हैं कि कणों का उत्पादन न्यूनतम स्तर पर रहे। आउटपुट हर बार समान रहता है… इसलिए सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक प्रक्रियाओं में भी वही तापमान प्राप्त होता है।
यह दृष्टिकोण बर्न-इन प्रक्रिया के लिए क्यों उपयुक्त है?
बर्न-इन प्रक्रिया में कठोरता आवश्यक है… लेकिन लापरवाही भी नहीं। NIR तकनीक, उच्च गति से परीक्षण करने हेतु आवश्यक त्वरित प्रतिक्रिया प्रदान करती है… एवं एकसमान तापमान, वेफरों की संरचना को सुरक्षित रखता है… ताकि कोई स्थानीय गर्म बिंदु न बने, जिससे फोटोरेजिस्ट प्रभावित हो या वेफर में तनाव पैदा हो।
यह लैंप 24/7 काम करता है… एवं इसकी रखरखाव प्रक्रियाएँ भी आसान हैं… इसलिए इसकी उपलब्धता स्थिर रहती है। ऊर्जा का उपयोग भी नियंत्रित किया जाता है… ताकि अनावश्यक ऊष्मा न पैदा हो। इस प्रकार, स्थिर प्रोफाइल प्राप्त होता है… कम पुनः-परीक्षणों की आवश्यकता होती है… एवं अमान्य वेफरों की संख्या भी कम हो जाती है।
व्यावहारिक विवरण जिन्हें ध्यान में रखना आवश्यक है:
यह लैंप, मानक बर्न-इन उपकरणों के साथ काम करता है… लेकिन वेफर की सतह के साथ इसका सही अनुरूपन आवश्यक है। इसकी सेटिंगें जल्दी ही की जा सकती हैं… दूरी, कोण एवं एमिसिविटी को समायोजित करके ही इसे तैयार किया जा सकता है।
यदि आप क्लास 1 स्तर पर काम कर रहे हैं, तो अतिरिक्त सुरक्षा उपाय आवश्यक हैं… एवं हवा के प्रवाह एवं थर्मल इनसुलेशन को भी उचित तरीके से व्यवस्थित करना आवश्यक है। एक बार अनुरूपन हो जाने के बाद, यह प्रणाली एक स्थिर प्रक्रिया के रूप में काम करती है… अर्थात् इसका परिणाम हर बार समान ही रहता है।