फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, 90°C पर ही उत्पादों को सुखाना आवश्यक है… यह कोई सुझाव नहीं, बल्कि एक अनिवार्य मानक है। 2°C का भी अंतर, फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता को प्रभावित कर सकता है; इससे उत्पाद बेकार हो सकते हैं। हमने ऐसी ही परिस्थितियों के लिए अपने सेमीकंडक्टर-उपयोगी इन्फ्रारेड हीटिंग लैंप विकसित किए हैं।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
ये लैंप, क्वार्ट्ज आवरणों के अंदर शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्वों का उपयोग करते हैं… इससे ऊर्जा सीधे ही लक्ष्य तक पहुँचती है, और आसपास की हवा गर्म नहीं होती। इसका परिणाम है – तेज़ प्रतिक्रिया एवं सटीक नियंत्रण। 300 मिमी आकार के वेफरों पर, तापमान में ±0.1°C का ही अंतर रहता है… एवं 24 घंटों में भी यह मान 0.05°C के भीतर ही रहता है।
क्लीनरूम संबंधी नियमों का पालन अनिवार्य है… इसलिए ये लैंप क्लास 1–100 वाले वातावरणों में ही उपयोग में आते हैं। हम कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों का उपयोग करते हैं… ताकि कणों की संख्या में कोई बदलाव न हो। आउटपुट स्थिरता 5,000+ घंटों तक 2% के भीतर ही रहती है… एवं लैंपों में मानक माउंटिंग एवं विद्युत इंटरफेस होते हैं… इससे इन्हें आसानी से उपयोग में लाया जा सकता है।
यहाँ यह क्यों कारगर है?
लिथोग्राफी में, एक्सपोजर से पहले ही फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता एवं साइडवॉल एंगल निर्धारित किए जाते हैं… हमारे इन्फ्रारेड लैंप, वेफर पर तेज़ एवं समान रूप से ऊष्मा पहुँचाते हैं… इससे प्रक्रिया में कोई विलंब नहीं होता, एवं उत्पादों की गुणवत्ता भी बनी रहती है। “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” दोनों ही प्रक्रियाओं में एक ही तापमान नियंत्रण होता है… इससे पुनर्कार्य की आवश्यकता नहीं पड़ती।
ऊर्जा की बचत:
ऊर्जा कम ही खर्च होती है… क्योंकि ऊष्मा सीधे ही फोटोरेजिस्ट तक पहुँचती है… न कि चैंबर की दीवारों तक। इससे अनप्लान्ड स्टॉप भी कम हो जाते हैं… लैंपों को बदलने की आवश्यकता भी नहीं पड़ती।
जानने योग्य बातें:
लैंपों की स्थापना के लिए, रिफ्लेक्टर की ज्यामिति एवं फोकल दूरी को वेफर के मार्ग के अनुरूप ही रखना आवश्यक है… अन्यथा एकरूपता बिगड़ जाती है। लैंप बहुत गर्म होते हैं… इसलिए प्रक्रिया शुरू करने से पहले शील्डिंग एवं इंटरलॉकिंग सिस्टमों की जाँच आवश्यक है।
हम सामान्य कंट्रोलरों के साथ इन लैंपों के उपयोग का समर्थन करते हैं… लेकिन बेकिंग प्रक्रिया के लिए स्थान-विशिष्ट नियंत्रण आवश्यक है… ताकि तापमान नियंत्रित रह सके। यदि प्रारंभिक परीक्षण सही तरीके से किए जाएं, तो लैंप प्रक्रिया में लगातार कार्य करते रहेंगे।