تضمین عدم انفجار لامپهای استفاده شده برای خشک کردن ویفرها
لامپهای مورد استفاده برای خشک کردن ویفرها، در واقع منابع گرمایی بسیار قوی هستند. این لامپها با ولتاژ بالا کار میکنند و دمای آنها بسیار بالا میرود. وقتی که عایقبندی لامپ خراب شود یا جریان الکتریکی از آن نشت کند، نه تنها کل سیستم از کار میافتد، بلکه ویفرهای سیلیکونی نیز از بین میروند. این وضعیت واقعاً یک کابوس است که هیچ کس نمیخواهد آن را تجربه کند.
به همین دلیل، ما به کیفیت الکتریکی لامپها توجه ویژهای میکنیم.
چرا هر لامپ را میآزماییم؟
ما فقط از روش آزمایش نمونهها استفاده نمیکنیم؛ یعنی فقط یک لامپ از هر ده لامپ را آزمایش نمیکنیم و امیدواریم که همه چیز خوب پیش برود. هر لامپ قبل از اینکه وارد خط تولید شود، مورد آزمایشهای کامل قرار میگیرد.
نحوه انجام این آزمایشات اینگونه است: ما ولتاژ بسیار بالاتری را به لامپ وارد میکنیم؛ چرا؟ چون میخواهیم هر نقص پنهانی را آشکار کنیم. حتی یک ترک کوچک در ساختار کوارتز یا کمی گرد و غبار روی بدنه لامپ، میتواند در آینده مشکلات جدی ایجاد کند. با این روش، مطمئن میشویم که لامپ در زمان استفاده، به خوبی کار کند؛ بدون هیچ مشکلی.
مقابله با گرما
لامپهایی با توان بالا، مقدار زیادی گرما تولید میکنند. این گرما باعث آسیب به اتصالات الکتریکی میشود و فشار زیادی بر سیستم زمینگذاری وارد میکند.
اگر سیستم شما برای کار با ولتاژ بالا طراحی شده باشد، مواد مورد استفاده باید بسیار مقاوم باشند. در غیر این صورت، جریان الکتریکی از بین خواهد رفت. این موضوع ممکن است کوچک به نظر برسد، اما میتواند باعث تغییر دمای فرآیند تولید شود؛ در بدترین حالت، میتواند باعث از کار افتادن کامل سیستم الکتریکی شود. ما مطمئن میشویم که عایقبندی لامپها بتواند در برابر این فشارها مقاومت کند.
بررسی واقعیت
انجام این آزمایشها زمانبر است؛ این امر باعث کند شدن چرخه تولید میشود. همچنین، لامپهایی که در شرایط کم فشار کار میکنند، ممکن است در شرایط صنعتی واقعی از کار بیفتند.
اما نکته مهم این است که تنها کار ما نصف مسیر است؛ زمینگذاری دستگاه شما نیز باید به همان اندازه مقاوم باشد. اگر زمینگذاری دستگاه شما خوب نباشد، حتی لامپهای عالی نیز ممکن است مشکلاتی داشته باشند.
سیمها را تمیز نگه دارید؛ اتصالات زمینگذاری را محکم نگه دارید. اگر از استانداردهای تولیدکننده پیروی کنید، مشکلی پیش نخواهد آمد.