در خط تولید، حرارتدهی با دمای ۹۰ درجه سانتیگراد، تنها یک پیشنهاد نیست؛ بلکه یک استاندارد ضروری است. تغییر ۲ درجهای در این دما میتواند باعث تغییراتی در ویژگیهای فوتورزیست شود و در نتیجه، محصولات تولید شده را بیارزش کند. ما لامپهای گرمایشی مادون قرمز خود را برای مقابله با چنین شرایطی طراحی کردهایم.
چه چیزهایی از نظر فنی اهمیت دارد؟
لامپهای ما از عناصر هالوژنی مادون قرمز کوتاهامواج استفاده میکنند؛ انرژی تولید شده مستقیماً به سمت سطح ورقه سیلیکونی هدایت میشود و هوای اطراف کمتر گرم میشود. این روش باعث پاسخگویی سریع و کنترل دقیق میشود. در یک ورقه ۳۰۰ میلیمتری، دمای سطح ورقه در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ همچنین، تکرارپذیری عملیات در طی ۲۴ ساعت در محدوده ۰.۰۵ درجه سانتیگراد باقی میماند.
قوانین مربوط به اتاقهای پاک، غیرقابل مذاکره هستند؛ بنابراین لامپهای ما برای محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب هستند. ما از موادی با میزان گاز صادر شده کم استفاده میکنیم؛ همچنین، ساختار لامپ به گونهای است که تعداد ذرات موجود در محیط کنترل شود. پایداری خروجی لامپ نیز در محدوده ۲٪ در طی بیش از ۵۰۰۰ ساعت کاری باقی میماند؛ همچنین، بدنه لامپ دارای رابطهای الکتریکی استانداردی است که امکان استفاده آن را در سیستمهای موجود فراهم میکند.
چرا این روش در اینجا مؤثر است؟
در فرآیند لیتوگرافی، مرحله حرارتدهی، مقدار محلول فوتورزیست و زاویه دیوارههای ورقه سیلیکونی را تعیین میکند. لامپهای مادون قرمز ما، انرژی را به طور سریع و یکنواخت به سطح ورقه سیلیکونی منتقل میکنند؛ این امر باعث کاهش زمان فرآیند و جلوگیری از فشار بر روی فیلم فوتورزیست میشود. حرارتدهی نرم و سخت، هر دو با همان استانداردهای حرارتی انجام میشوند؛ این امر باعث کاهش کارهای تکراری و افزایش بازدهی تولید میشود.
مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا انرژی مستقیماً به سمت فوتورزیست هدایت میشود، نه به دیوارههای اتاق. همچنین، قابلیت اطمینان لامپ، باعث کاهش توقفهای غیرمنتظره میشود؛ یعنی نیازی به تعویض لامپ در جریان تولید نیست.
نکاتی که باید بدانید:
نصب لامپ، مستلزم تطبیق هندسه بازتابنده و فاصله کانونی آن با مسیر ورقه سیلیکونی است. اگر این تطبیق صحیح نباشد، یکنواختی عملیات کاهش خواهد یافت. لامپها دارای دمای بالایی هستند؛ بنابراین باید قبل از شروع فرآیند، سیستمهای محافظتی و رابطهای الکتریکی لامپ بررسی شوند.
ما از اتصال لامپها به کنترلرهای رایج نیز حمایت میکنیم؛ اما همچنان نیاز به نقشهای ویژه برای کنترل دمای لامپ در محیط مورد نظر وجود دارد. اگر مراحل اولیه ارزیابی به درستی انجام شود، لامپ میتواند فرآیند تولید را در تمام دستهها حفظ کند.