در فرآیند برن-این، دما صرفاً یک پارامتر اضافی نیست؛ بلکه خودِ فرآیند محسوب میشود. تغییرات جزئی در دما میتواند عیبهای پنهان را پنهان کند، یا باعث شود ویفرهایی که باید ارسال شوند، رد شوند. ما لامپ گرمایشی مخصوص برن-این را طوری طراحی کردهایم که این عدم قطعیتها را از بین ببرد.
آنچه واقعاً اهمیت دارد
این لامپ، از نور مادونقرمز برای گرم کردن سریع و مستقیم ویفرها استفاده میکند؛ همچنین باعث کاهش جرم حرارتی ویفرها میشود. ما سعی کردهایم تا یکنواختی دما در ویفرها را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ کنیم؛ همچنین تثبیت دما در طول فرآیند گرمایش نیز مهم است. الکترودهای لامپ در یک ساختار کوارتزی و سرامیکی قرار دارند؛ این ساختار برای استفاده در اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین سطوح این ساختار به گونهای طراحی شدهاند که تولید ذرات به حداقل برسد. خروجی لامپ نیز قابل تکرار است؛ بنابراین پروفایلهای گرمایشی مربوط به فرآیند برن-این نیز یکنواخت خواهد بود.
چرا این رویکرد برای فرآیند برن-این مناسب است
فرآیند برن-این نیاز به شرایط سختگیرانه دارد، اما نباید بیدقت باشد. نور مادونقرمز به نیروی لازم برای انجام آزمایشها در سرعت بالا کمک میکند؛ همچنین یکنواختی دما، از تغییرات در ساختار ویفرها جلوگیری میکند. لامپ نیز ۲۴/۷ کار میکند و نیاز به تعمیرات منظم دارد؛ بنابراین زمان کارکرد لامپ پایدار خواهد بود. میزان انرژی مصرفی نیز مدیریت میشود؛ بنابراین از هدر رفتن انرژی جلوگیری میشود. در نتیجه، پروفایلهای گرمایشی پایدار خواهند بود، تعداد آزمایشهای تکراری کمتر خواهد بود و مقدار ویفرهای ردشده نیز کمتر خواهد بود.
جزئیات عملی که باید در نظر گرفته شوند
این لامپ میتواند با تجهیزات استاندارد برن-این کار کند؛ اما تنظیم صحیح آن نسبت به سطح ویفر بسیار مهم است. فرآیند تنظیم لامپ سریع است؛ کافی است فاصله، زاویه و جبران انرژی تابشی را برای ویفر مورد نظر تنظیم کنید. اگر در شرایط نزدیک به درجه ۱ کار میکنید، باید از محافظتهای اضافی استفاده کنید و جریان هوا و عایقبندی حرارتی را نیز به درستی تنظیم کنید. پس از تنظیم، سیستم مانند یک فرآیند قابل پیشبینی عمل خواهد کرد.