وقتی که ویفرها را در منطقه تمیزکاری شیمیایی گرم میکنید، در واقع در حال بازی با آتش هستید؛ یعنی به معنای واقعی کلمه. گازهای قابل اشتعال و منفجره در اطراف وجود دارد؛ بنابراین نمیتوانید صرفاً یک لامپ کوارتزی را در کنار محل حلالهای شیمیایی قرار دهید و امیدوار باشید که همه چیز خوب پیش خواهد رفت. این روش، راهی برای بروز فاجعه است.
برای جلوگیری از خطرات، ما روی دو موضوع اصلی تمرکز میکنیم: فاصلهگذاری مناسب بین لامپ و مواد شیمیایی، و محکم بسته شدن تمام اجزا.
مدیریت گرما
فاصله بین لامپ و مواد شیمیایی، عدد تصادفی نیست؛ بلکه یک مرز مشخص است. لامپهای مادون قرمز، تشعشعات شدیدی تولید میکنند؛ اگر سطح لامپ یا هوای اطراف آن بیش از حد گرم شود، گازهای شیمیایی میتوانند در یک لحظه منفجر شوند.
ما محاسبات خود را بر اساس توان لامپ و فشار بخار مواد شیمیایی انجام میدهیم. البته، اگر لامپ را نزدیکتر قرار دهید، گرمای بیشتری تولید خواهد شد؛ اما در عین حال، خطر ذوب شدن بدنه لامپ نیز وجود دارد. به همین دلیل، سیستم خنککننده باید به اندازه کافی قوی باشد تا گرما را از انتهای لامپ دور کند؛ در غیر این صورت، درزهای لامپ خراب خواهند شد.
بستهبندی
همچنین، ما از روشهای بستهبندی ویژه برای محافظت از لامپ استفاده میکنیم. ما صرفاً لامپ را پوشانده نمیکنیم؛ بلکه از مواد مخصوص برای بستهبندی استفاده میکنیم. هدف این کار، جلوگیری از تماس قطعات الکتریکی با هوای خورنده است. ما الکترودها و سیمها را در عایقهای با کیفیت بالا میپیچیم تا بتوانند در برابر تأثیرات گازهای اسیدی مقاومت کنند. این کار مانع از ایجاد جرقه میشود؛ و در محیطهای منفجره، یک جرقه کافیست تا فاجعه رخ دهد.
تعادل بین کارایی و ایمنی
حالا، مشکل اینجاست که قرار دادن لایه محافظ بین منبع مادون قرمز و ویفرها، باعث کاهش مقدار گرمای تولید شده میشود. شاید مجبور شوید توان لامپ را افزایش دهید یا اجازه دهید ویفرها مدت بیشتری در آن محیط باقی بمانند تا دمای مورد نظر را به دست آورید. اما این هزینه کوچکی است که برای جلوگیری از انفجار باید پرداخت شود. ما ترجیح میدهیم فرآیند کار را کمی آهستهتر انجام دهیم، تا از انفجار جلوگیری شود. در نهایت، شما میتوانید در پایان شیفت، به خانه برگردید.