Memastikan Penggunaan Sensor Suhu Inframerah yang Tepat di Kilang Pembuatan
Jika anda ingin mencipta “digital twin” untuk kilang pembuatan anda, anda akan menyedari bahawa penggunaan sensor bukanlah perkara yang sukar. Cabaran sebenarnya adalah untuk memastikan aliran data yang diterima tidak bercelaru. Dalam proses pemprosesan wafer, kita menggunakan sensor inframerah berketepatan tinggi untuk mendapatkan maklumat suhu secara masa nyata. Tanpa ini, sistem pengurusan suhu anda akan menjadi tidak efektif.
Mengapa kita tidak boleh “sentuh” wafer secara langsung
Sebenarnya, kita tidak boleh meletakkan probe fizikal pada wafer tersebut. Ini kerana tindakan tersebut akan merosakkan wafer tersebut dengan segera. Itulah sebabnya kita menggunakan sensor inframerah. Sensor ini dapat mengesan radiasi yang dipancarkan oleh silikon dan menukarkannya menjadi bacaan suhu. Namun, ia bukanlah sesuatu yang mudah. Anda perlu mengambil kira faktor emisi haba. Memandangkan silikon mengubah cara ia memancarkan haba bergantung pada suhu dan tahap dopingnya, anda perlu melakukan penalaan yang tepat. Jika langkah ini diabaikan, data yang diperoleh akan menjadi tidak berguna.
Memastikan sensor berfungsi dengan baik
Dalam kilang pintar, sensor-sensor ini tidak boleh dibiarkan berfungsi secara berasingan. Ia perlu disambungkan terus ke sistem PLC atau SCADA menggunakan antaramuka berkelajuan tinggi. Inilah cara untuk mencipta lingkaran tertutup dalam sistem tersebut. Jika sensor mengesan kawasan yang panas pada wafer, sistem akan menyesuaikan suhu pemanasan dalam masa beberapa milisaat sahaja. Ini sangat cepat. Dan inilah satu-satunya cara untuk mengelakkan wafer daripada rosak atau mempunyai ketebalan yang tidak seragam.
Realiti yang rumit di kilang pembuatan
Jangan harap segalanya akan berjalan lancar. Pertama sekali, anda perlu memastikan sudut pandangan sensor betul-betul tepat. Jika penyelarasan tidak betul, sensor akan mengesan haba dari dinding furnace atau alat pengangkut wafer, bukannya wafer itu sendiri. Selain itu, terdapat masalah berkaitan kekotoran pada lensa sensor. Lama-kelamaan, wap kimia akan membentuk lapisan pada lensa tersebut. Lapisan ini akan menghalang isyarat inframerah, sehingga bacaan suhu menjadi tidak tepat. Anda perlu memiliki jadual pembersihan yang ketat atau sistem pembersihan gas untuk memastikan lensa sensor tetap bersih. Sejujurnya, jika lensa sensor kotor, maka “kilang pintar” anda hanyalah alat yang tidak berguna.