Dalam proses “burn-in”, suhu bukan sekadar satu parameter yang boleh diatur semata-mata. Ia merupakan sebahagian daripada proses itu sendiri. Perubahan suhu sebanyak beberapa darjah sahaja pun boleh menyebabkan kecacatan tersembunyi pada wafer, atau memicu kegagalan palsu sehingga wafer yang sepatutnya dihantar terpaksa dibuang. Kami telah mencipta lampu pemanas khusus untuk proses “burn-in” ini, agar ketidakpastian tersebut dapat dielakkan.
Apa yang benar-benar penting dalam proses ini
Lampu tersebut menggunakan sinar inframerah dekat (NIR) untuk memanaskan wafer dengan cepat dan efektif, sambil mengurangkan penyebaran haba. Kami berusaha untuk mencapai tahap keseragaman suhu pada wafer sekitar ±0.1°C, dengan memastikan kestabilan suhu sepanjang proses pembenihan haba. Lampu tersebut diletakkan dalam struktur kuarsa dan seramik yang sesuai untuk digunakan di bilik bersih kelas 1–100. Permukaan lampu tersebut direka supaya penghasilan zarah-zarah yang tidak diinginkan dapat diminimumkan. Hasil pemprosesan akan tetap konsisten dari satu sesi ke sesi yang lain, jadi profil pemanasan akan tetap sama sepanjang proses “burn-in”.
Mengapa pendekatan ini sesuai untuk proses “burn-in”
Proses “burn-in” memerlukan suhu yang tinggi, tetapi ia perlu dilakukan dengan teliti. Sinar inframerah dekat memberikan respons yang cepat yang diperlukan untuk ujian yang dilakukan secara serentak. Keseragaman suhu yang tinggi pula membantu melindungi struktur wafer daripada kerosakan akibat perbezaan suhu di bahagian tertentu.
Lampu tersebut beroperasi 24/7, dan penyelenggaraannya mudah dilakukan. Penggunaan tenaga juga dapat dikawal dengan baik, tanpa pembaziran tenaga. Dengan cara ini, profil pemanasan akan tetap stabil, jumlah ujian ulang akan berkurangan, dan jumlah wafer yang terbuang juga akan berkurangan.
Butiran praktikal yang perlu diperhatikan
Lampu tersebut boleh digunakan bersama peralatan “burn-in” biasa, tetapi penyesuaian kedudukan lampu terhadap permukaan wafer sangat penting. Proses penalaan dilakukan dengan cepat – cukup laraskan jarak, sudut, dan faktor emisiviti agar sistem berfungsi dengan baik.
Jika anda beroperasi dalam lingkungan kelas 1, Anda perlu memastikan adanya perlindungan tambahan, serta mengatur aliran udara dan pengasingan haba dengan betul. Setelah diselaraskan, sistem akan berfungsi dengan cara yang boleh diramalkan, boleh diukur, dan boleh diulang.