ייבוש שבבי החיישנים של MEMS באמצעות חימום באור אינפראאדום
אם עבדתם אי פעם בייצור של מכשירי MEMS, אתם יודעים כמה קשה להיפטר מהלחות העודפת לאחר תהליכי שחיקה או ניקוי. זו בעיה גדולה מאוד. רוב האנשים פשוט שמים את השבבים בתנור חימום, אך זה בעצם כמו לחמם את כל הבית רק כדי לחמם פיצה אחת – זה מבזבז המון אנרגיה.
לכן אנו משתמשים במנורות אינפראאדום בעלות גלי אור קצרים. במקום לחמם את האוויר סביב השבב, אנו חוממים את השטח שלו ישירות. זו דרך הרבה יותר יעילה לניהול מפעל “ירוק”.
גורם המהירות
הדבר הטוב ביותר? החימום נעשה כמעט מיידית.
מנורות חימום רגילות לוקחות הרבה זמן להתחיל לעבוד, מה שאומר שאנו מבזבזים אנרגיה רק כדי לחכות שהמכשיר יתחיל לעבוד. מנורות אינפראאדום לא עושות זאת – הן מגיעות מיד לטמפרטורת העבודה הרצויה. מכיוון שאנו משתמשים בגלי אור קצרים, החום חודר לשבב ומאדים את הנוזלים, לפני שהשבב יספיק להתחמם יותר מדי.
כך אנו מקבלים מכשיר קטן יותר וחשבון חשמל נמוך יותר.
הפרטים הטכניים
אנו משתמשים במעטפות קוורץ באיכות גבוהה עבור המנורות. במפעלי שבבים, זיהום מתכתי הוא בעיה גדולה, לכן אנו לא לוקחים שום סיכון. אנו גם מתאימים את הגלאים כך שהם יפלטו את האור בדיוק בטמפרטורה הנדרשת על ידי החומר שממנו עשוי השבב.
אך יש להיות זהירים – אם נשפוך יותר מדי אנרגיה לנקודה אחת, השבב עלול להיפגע או לסבול מהלם תרמי. כדי למנוע זאת, אנו משתמשים בשליטה בעוצמת האור, וכך הטמפרטורה נשארת יציבה ובטוחה.
ההתמודדויות
המעבר לשימוש באור אינפראאדום מקל על העבודה בכמה דרכים – אנו מפחיתים את הבזבוז האנרגטי, ואין צורך במערכות מסורבלות לחימום האוויר.
אך יש גם בעיה – אור אינפראאדום יכול לחדור רק דרך קו ראייה ישיר. אם לשבב יש חלקים עבים או כל סוג של מגן, יהיו אזורים קרים בשבב. יש לוודא שהשבב מיושר בצורה מושלמת – בעיקר על שטחים בגודל 200 ממ או 300 ממ. אם יש סטייה קטנה, יהיו סימני ייבוש על השבב, וזה עלול לפגוע באיכות החיישנים.