In der Fertigungshalle kann bereits eine geringe Temperaturänderung von nur einem Bruchteil eines Grades dazu führen, dass die Eigenschaften des Photoresists nicht mehr den Vorgaben entsprechen. Dadurch kommt die Produktion zum Stillstand, die Anzahl der Defekte steigt und die Ausbeute sinkt – noch bevor überhaupt eine Prüfung der Defekte durchgeführt werden kann. Wir haben spezielle Infrarotheizgeräte entwickelt, um diese Schwankungen auszugleichen. So bleibt die Qualität der Lithografie von Schicht zu Schicht konstant.
Der Kern dieser Heizgeräte besteht aus einem Kurzwellen-Infrarotemitter, der auf die Absorption der gängigen Photoresist-Substanzen abgestimmt ist. Dadurch wird eine Temperaturregelmäßigkeit auf Wafer-Ebene von ±0,1 °C erreicht. Das Design basiert auf Quarz und ermöglicht eine effiziente Energieübertragung sowie eine präzise Temperaturkontrolle. Der Heizkörper passt zu den Standards für Heizplatten in Reinräumen der Klassen 1–100 und sorgt dafür, dass es keine Temperaturschwankungen gibt. In der Praxis bedeutet das, dass sowohl die Profile für die sanfte als auch für die starke Erhitzung über Tausende von Zyklen hinweg stabil bleiben. Dadurch verbessert sich die Kontrolle über die kritischen Abmessungen – ohne dass man sich um Temperaturschwankungen kümmern muss.
Zunächst profitiert man von einer höheren Prozessstabilität. Eine präzisere Steuerung der Erhitzungstemperatur verringert die Abweichungen zwischen den einzelnen Produktreihen und senkt somit den Ausschuss. Der Energieverbrauch nimmt ab, da der Heizkörper schnell die gewünschte Temperatur erreicht und diese mit minimalem Überschlag hält. Die Zuverlässigkeit der Geräte ist darauf ausgelegt, 24/7 zu funktionieren – dadurch werden unplanmäßige Stillstände und die Kosten für Ersatzteile reduziert. Das Ergebnis sind höhere Ausbeuten und eine vorhersehbare Betriebszeit – beides Faktoren, die direkt den Gewinn der Fertigung beeinflussen.
Die Installation erfolgt auf den meisten Plattformen recht einfach. Allerdings ist die Geometrie der Geräte empfindlich. Stellen Sie vor dem Austausch sicher, dass genügend Platz für den Emittenten, den Reflektor und den Sensor vorhanden ist. Zudem muss sich Ihr Temperaturkontrollsystem mit der Reaktionszeit des Heizkörpers vertragen. Es wird ein kurzer Einstellzeitraum benötigt, damit die verbesserte Temperaturregelmäßigkeit vollständig eingestellt werden kann.