Sichere Ihre IR-Lampen in chemischen Bereichen aufbewahren
Seien wir ehrlich: Das Reinigen der Waferwerkzeuge ist eine nervenaufreibende Aufgabe. Man arbeitet dabei mit flüchtigen, brennbaren Lösungsmitteln, die nicht gerade sanft sind. Wenn man in solchen Bereichen eine Standard-IR-Lampe verwendet, lädt man im Grunde genommen Katastrophen ein. Schon eine kleine Funke oder eine heiße Oberfläche, die auf Dämpfe des Lösungsmittels trifft, kann zu einer ernsten Explosion führen.
Deshalb verwenden wir keine gewöhnlichen Lampen – stattdessen schützen wir sie sorgfältig. Wir nutzen ein spezielles Verpackungssystem, das den Heizelementen eine vollständige Trennung von der umgebenden Luft ermöglicht.
Wie die Abdichtung funktioniert
Wir wickeln die Lampe einfach nicht nur in Plastik ein – stattdessen verwenden wir einen hermetisch abgeschlossenen Quarzkörper sowie einen widerstandsfähigen, chemikalienbeständigen äußeren Schutz. Dadurch können die aggressiven, korrosiven Dämpfe nicht in das Gehäuse eindringen.
Die Abdichtung ist der Schlüssel zur Sicherheit. Wir verwenden Hochtemperatur-Dichtungen sowie einen speziellen Klebstoff für die Leitungen. So entsteht eine perfekte Abdichtung – kein Gas kann ins elektrische Gehäuse eindringen. Punkt.
Überleben in chaotischen Umgebungen
Chemische Reinigungsumgebungen sind extrem belastend. Sie zerstören Materialien. Wir haben Komponenten ausgewählt, die auch bei Kontakt mit aggressiven Lösungsmitteln nicht beschädigt werden.
Der äußere Schutzschirm ist so konstruiert, dass er den ständigen Temperaturwechsel aushält, ohne zu Rissen zu kommen. Denn wenn dieser Schutzschirm versagt, wird die Lampe kontaminiert und geht fast sofort kaputt. Zudem haben wir das Ganze kompakt gehalten – man kann diese Lampen problemlos in enge Waferwerkzeughalterungen einsetzen, ohne den Luftstrom zu blockieren.
Die notwendigen Kompromisse
Natürlich ist diese Art von Schutz nicht kostenlos. Es kommt zu einem gewissen thermischen Verzug. Aufgrund der zusätzlichen Schutzschicht zwischen der Lampe und dem Wafer sinkt die Intensität der Infrarotstrahlung etwas. Möglicherweise müssen Sie die Leistung der Lampe erhöhen oder etwas mehr Zeit einplanen, um die gewünschte Temperatur zu erreichen. Auch die PID-Controller müssen angepasst werden, um mit dieser zusätzlichen Wärmemasse umzugehen.
Aber letztendlich ist das ein faire Kompromiss. Man erhält eine Lampe, die den Anforderungen eines Reinraums standhält – und vor allem verhindert sie, dass die chemische Umgebung in Flammen aufgeht.