In der Burn-in-Einheit ist die Temperatur nicht einfach nur eine weitere Einstellung – sie ist vielmehr der eigentliche Prozessbestandteil. Eine Abweichung von ein paar Grad kann verborgene Defekte verdecken – oder zu falschen Fehlermeldungen führen, wodurch Wafer, die eigentlich versandt werden sollten, als defekt eingestuft werden. Wir haben unsere Heizlampe für das Burn-in-Verfahren so konstruiert, dass diese Unsicherheiten beseitigt werden.
Was wirklich wichtig ist
Die Lampe nutzt Near-Infrarot-Strahlung, um die Wafer schnell und effektiv zu erhitzen – dabei bleibt die Wärmeabgabe gering. Wir streben eine Homogenität auf Waferebene von ±0,1°C an. Dadurch bleibt die Setpunktkonstanz während des Heizvorgangs gewährleistet, ohne dass es zu Überschreitungen kommt. Der Emittorenarray befindet sich in einer Ausführung aus Quarz und Keramik, die für den Einsatz in Reinräumen der Klasse 1–100 geeignet ist. Die Oberflächen sind so gewählt, dass die Bildung von Partikeln möglichst vermieden wird. Die Leistung der Lampe bleibt von Lauf zu Lauf konstant – dadurch bleiben auch die Profile für das Weich- und Hartheizen gleich.
Warum dieser Ansatz für das Burn-in-Verfahren geeignet ist
Beim Burn-in-Verfahren muss die Erhitzung intensiv sein – aber niemals ungenau. Near-Infrarot-Strahlung ermöglicht eine schnelle Reaktion, was für hochwertige Testsequenzen notwendig ist. Zudem sorgt die hohe Homogenität dafür, dass keine lokalen Hitzpunkte entstehen, die den Photoresisten beeinträchtigen oder Spannungen verursachen könnten.
Die Lampe funktioniert 24/7 – mit vorhersehbaren Wartungsintervallen. Dadurch bleibt die Betriebszeit konstant. Der Energieverbrauch wird gemessen und kontrolliert – es werden keine unnötigen Energieverluste verursacht. Dadurch entstehen stabile Profile, weniger Nachtests und weniger Ausschuss.
Praktische Details, die berücksichtigt werden müssen
Die Lampe funktioniert mit Standard-Burn-in-Einrichtungen und Testgeräten – doch die Ausrichtung bezüglich der Waferoberfläche ist entscheidend. Die Einrichtung der Lampe erfolgt schnell: Es müssen lediglich Entfernung, Winkel sowie die Empfindlichkeit der Lampe angepasst werden. Wenn alles richtig eingestellt ist, funktioniert das System wie eine feste Prozessvariable – vorhersehbar, messbar und wiederholbar.