Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält
Wenn man Wafer in einem Reinraum der Klasse 100 erhitzt, kann man es sich nicht leisten, auch nur den geringsten Fehler zu machen. Schon ein kleines bisschen Ausgasung oder ein paar Staubpartikel können dazu führen, dass die Qualität des Siliziums stark nachlässt. Das ist frustrierend. Die meisten herkömmlichen Heizelemente eignen sich für diese Anwendung nicht – sie geben mikroskopisch kleine Partikel ab, die alles zerstören können.
Deshalb verwenden wir für unsere Infrarotlampen hochreinen synthetischen Quarz.
Warum Quarz wichtig ist
Wir verwenden geschmolzenes Silizium mit nahezu keinerlei Verunreinigungen. Warum? Weil billiges Glas bei hohen Temperaturen zerfällt. Diese Quarztuben fungieren wie eine „Festung“ – sie schützen den Wolframdraht vor dem Kontakt mit dem Wafer. Da das Material chemisch inert ist, tritt kein störender Staubaufbau auf, wie er bei billigen Lampen der Fall ist. Das ist die einzige Möglichkeit, die Luft während der Hochtemperaturprozesse rein zu halten.
Wärme, die tatsächlich dort ankommt, wo sie benötigt wird
Unsere Lampen senden Kurzwellenstrahlung aus. Anstatt Zeit damit zu verschwenden, die Luft um den Wafer aufzuheizen, gelangt die Wärme direkt auf die Oberfläche des Wafers. Das geht sehr schnell – und dadurch bleibt die Temperatur über die gesamte Oberfläche des Wafers gleichmäßig.
Ein Hinweis: Wir packen eine hohe Leistung in einen kleinen Raum. Das bedeutet, dass man die Kühlsysteme richtig einstellen muss. Wenn die Luftzirkulation zu schwach ist, überhitzen die Enden der Lampe und gehen kaputt. Niemand möchte das mitten im Betrieb erleben.
Einsetzen und Inbetriebnahme
Wir haben diese Lampen mit Standardanschlüssen hergestellt – sie passen also einfach in Ihre vorhandenen Geräte. Keine Probleme. Die Dichtungen sind vakuumdicht, sodass man sich keine Sorgen um das Austreten von Halogengas machen muss.
Ein kleiner Tipp bei der Anschlussverlegung: Halten Sie die Kontakte sauber. Jede Oxidation an den Kontakten kann zu Hotspots führen – und das wiederum kann dazu führen, dass der Quarz beschädigt wird. Achten Sie außerdem darauf, dass das Spektrum der Lampe zum Material des Wafers passt. So vermeiden Sie Energieverschwendung und sorgen dafür, dass der gesamte Prozess effizient abläuft, ohne die Reinheit des Produkts zu beeinträchtigen.