촉매 처리 과정에서 15분간의 램프 조명을 사용하면, 이전에 얻은 성과가 모두 사라집니다. 층의 균일성이 저하되고, 입자 수도 증가하며, 촉매층도 원하는 정도의 다공성을 갖지 못합니다. 우리는 이러한 문제를 방지하기 위해 이 연료전지 촉매 건조 램프를 개발했습니다.
핵심적인 부분들 이 램프는 근적외선(NIR)을 사용하여 작동합니다. 스펙트럼이 조절되어 있어 용매를 빠르게 제거할 수 있으면서도 촉매의 구조가 손상되지 않습니다. 웨이퍼 전체의 온도는 ±0.1°C 내에 유지되며, 설정된 온도의 반복성도 ±0.5°C 수준입니다. 24시간 연속 작동해도 성능이 안정적이며, 실제로 5,000시간 이상 사용해도 성능 저하가 5% 미만입니다. 클린룸 환경도 별도로 구축할 필요가 없습니다. 클래스 1–100에 적합하며, 공정 인터페이스에서는 입자가 전혀 발생하지 않습니다. 또한 밀폐된 광학 경로 덕분에 가스나 오염물질이 들어오지 않습니다.
왜 이 램프가 적합한가? 촉매 건조는 빠르고 깨끗하게, 그리고 반복 가능하게 이루어져야 합니다. NIR을 사용하면 접촉 없이도 즉각적인 열 반응이 일어나므로, 촉매의 구조가 손상되지 않으면서도 처리 시간을 단축할 수 있습니다. 포토레지스트 수준의 정밀한 온도 제어 덕분에 매번 동일한 건조 과정이 반복됩니다.
예기치 않은 가동 중단은 없습니다. 이는 우수한 열 설계와 정확하게 조절된 가열/건조 프로파일, 그리고 교체 주기가 긴 램프 덕분입니다. 그 결과, 촉매의 활성도가 안정적이고, 폐기물도 줄어들며, 일관된 생산성을 얻을 수 있습니다.
실용적인 팁들 이 램프는 표준 크기를 가지고 있지만, 상류에 있는 기판의 열 특성을 반드시 확인해야 합니다. 두꺼운 기판이나 열전도율이 높은 기판을 사용할 경우, NIR의 출력 밀도와 처리 시간을 적절히 조절해야 합니다. 또한 클린룸 환경도 잘 구성해야 합니다. 주변의 공기 흐름과 입자 제어가 적절해야만 공정이 반복 가능합니다.