리소그래피 공정에서는 약간의 오차만 있어도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 소프트 베이크 과정에서 단 0.5도 정도의 오차가 생기면, 치수 값이 나노미터 단위로 변하게 됩니다. 한 번 잘못된 제품이 생기면 며칠 동안 그 대가를 치러야 합니다.
우리는 바로 이러한 문제를 해결하기 위해 이 사진감광제 가열 장치를 만들었습니다. 수동 조작 없이도 정확한 제어가 가능합니다.
핵심은 무엇인가? 우리는 석영 케이스 안에 단파 할로겐 발광체를 사용하여 사진감광제층을 빠르고 안정적으로 가열합니다. 가열 표면 전체에서 웨이퍼의 온도는 ±0.1°C 이내로 유지되며, 반복 가열 시에도 ±0.2°C 이내로 안정적입니다. 설정값을 맞추는 데 걸리는 시간은 2초 미만이며, 일단 가열이 완료되면 온도 변화는 시간당 0.1°C 미만으로 유지됩니다.
이 장치는 클래스 1–100급 클린룸 환경에서도 사용할 수 있으며, 작동 중에는 입자가 전혀 발생하지 않도록 설계되었습니다. 전력 소비와 크기도 기존의 코팅/가열 장비에 쉽게 연동될 수 있도록 설계되었으며, 인터페이스도 표준 연결 단자와 호환되어 추가적인 작업이 필요하지 않습니다.
왜 이 장치가 문제를 줄여주는가? 이 장치는 사진감광제 처리 과정을 정확하게 유지해 줍니다. 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서의 온도가 일정하게 유지되므로, 선의 너비, 측면 각도, 잔류 용매량도 규격 내에 있게 됩니다. 이로 인해 재작업이 줄어들고, 폐기물도 줄어듭니다. 또한, 빠른 온도 안정화 덕분에 에너지 절약이 가능하며, 발광체의 긴 수명 덕분에 유지보수 주기도 길어집니다. 따라서 예비 부품도 적어지고, 계획되지 않은 가동 중단도 줄어듭니다.
설치 시 고려해야 할 사항 클린룸급의 전력 공급 시스템과 정교한 광학 정렬이 필요합니다. 그래야만 열이 웨이퍼 위에 정확하게 전달됩니다. 또한, 클로즈드 루프 제어를 위해서는 가열판에 외부 온도 센서가 필요합니다. 이 센서가 없으면 설정값을 정확하게 유지할 수 없습니다.
먼저 실제 열 관련 데이터를 확인한 다음, 설정값을 고정시키고 공정을 진행하면 됩니다.