건조 라인에서의 열 낭비를 막으세요.
웨이퍼 건조 라인에 대한 에너지 점검을 해본 적이 있다면, 문제가 어디에 있는지 잘 알 것입니다. 바로 램프와 기판 사이의 공간입니다.
대부분의 일반적인 반사체들은 적외선 에너지를 모든 방향으로 흩뿌립니다. 그래서 웨이퍼에 도달하는 열의 양은 극히 적고, 대부분의 열은 챔버 벽에 부딪혀 반사됩니다. 이는 명백한 낭비입니다. 그래서 우리는 금으로 코팅된 반사체를 사용합니다.
왜 금인가?
금은 적외선을 반사하는 능력이 알루미늄이나 스테인리스 스틸보다 훨씬 뛰어납니다. 알루미늄도 처음에는 괜찮지만, 반도체 제조 환경의 높은 온도에는 견디지 못합니다. 반면 금은 산화되지 않아 성능이 일정하게 유지됩니다. 그래서 웨이퍼에 더 많은 열이 전달됩니다.
또한, 열이 흩어지는 것을 막기 위해 반사체의 형태를 조절하여 에너지를 한곳에 집중시킬 수 있습니다. 그러면 램프의 출력을 높이지 않고도 표면의 열 밀도를 높일 수 있습니다.
단점
물론 단점도 있습니다. 금은 비싸기 때문에 초기 비용이 높아집니다. 하지만 장기적으로는 운영 비용을 줄일 수 있는 방법으로 생각해야 합니다.
또 한 가지, 금은 깨끗한 상태를 유지해야 합니다. 만약 반도체 제조 공장 내에 유기물이나 화학 물질이 있으면, 그 오염물들이 반사체 표면에 쌓여 반사율을 떨어뜨립니다. 그러므로 반사체를 항상 깨끗하게 유지해야 합니다. 그렇지 않으면 돈만 낭비하게 됩니다.
공장에 설치하는 방법
좋은 소식은, 이러한 반사체들이 일반적인 반사체들과 호환된다는 것입니다. 별도로 설치할 필요가 없습니다.
단지 초점을 웨이퍼 평면에 맞추기만 하면 됩니다. 이렇게 하면 300mm 면 전체에 고른 열이 분포되어, 기판이 변형되는 것을 방지할 수 있습니다.
건조 시스템을 선택할 때, 단순히 더 많은 열이 필요하다고 해서 더 많은 램프를 추가하는 것은 좋지 않습니다. 그렇게 하면 HVAC 시스템에 큰 부담이 갑니다.
대신 반사체의 효율성에 집중해야 합니다. 열을 웨이퍼에 집중시키는 것이 중요합니다.