반제품의 탄소 배출을 줄이는 방법: 모든 것은 열 관리에서 시작됩니다.
반도체 제조 과정에서는 열 관리가 매우 중요합니다. 하지만 진정으로 탄소 중립을 달성하고 싶다면, 에너지가 가장 많이 낭비되는 부분부터 점검해야 합니다. 우리에게 있어 그것은 적외선 가열 시스템의 구조를 잘 설계하는 것을 의미합니다. 만약 열이 클린룸 안으로 새어 나간다면, 그건 결국 돈과 탄소를 낭비하는 것과 같습니다.
적절한 재료가 중요합니다.
우리는 이러한 가열 시스템의 외부 구조에 304 또는 316L 스테인리스 강을 사용합니다. 왜냐하면 이 재료는 가스를 방출하지 않으며, 고온에도 변형되지 않기 때문입니다. 내부에는 광택 처리된 반사판을 사용하여 적외선을 웨이퍼에 직접 전달합니다. 간단히 말해, 열이 정확히 필요한 곳으로 전달된다면, 손실을 보충하기 위해 더 많은 전력을 사용할 필요가 없습니다. 웨이퍼당 필요한 전력도 줄어듭니다. 정말 간단합니다.
적절한 형태가 필요합니다.
가열 시스템의 형태는 열의 밀도를 결정합니다. 우리는 램프와 목표물 사이의 간격을 가능한 한 줄이도록 설계합니다. 간격이 좁을수록 온도 상승 속도가 빨라집니다. 부품 주변의 공기를 가열하는 데 에너지가 낭비되지 않습니다. 또한 정밀한 마운팅 브래킷을 사용하여 램프를 교체해도 초점이 흐트러지지 않도록 합니다. 정렬이 조금만 어긋나도 효율성이 크게 떨어집니다.
고밀도 열의 문제점
고출력 적외선 시스템은 금속에 큰 압력을 가합니다. 오랫동안 사용하면 스테인리스 강이 팽창합니다. 이러한 변형을 방지하기 위해 홈이 있는 마운팅 홀을 사용합니다. 하지만 시설의 냉각 시스템이 이러한 부하를 감당할 수 있어야 합니다. 그렇지 않으면 탄소 배출을 줄이는 대신, 단지 히터의 부담을 HVAC 시스템으로 옮기는 것에 불과합니다.
적절하게 설계된 가열 시스템에서는 일반적인 적외선 램프가 단순한 부품이 아니라 정밀한 도구가 됩니다. 이는 생산 라인의 속도를 늦추지 않으면서 친환경적인 공장을 만드는 가장 빠른 방법입니다.