클래스 100급 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
만약 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 미세한 먼지나 이물질이 생기는 문제가 얼마나 심각한지 잘 알고 있을 것입니다. 히팅 요소에서 나오는 작은 조각들만으로도 전체 제품이 망가질 수 있습니다. 대부분의 일반적인 저항식 히터들은 이러한 상황에 적합하지 않습니다. 그런 히터들은 가스를 배출하거나 표면이 벗겨지는 문제가 있으며, 이는 청정실에서는 치명적인 문제가 됩니다.
그래서 우리는 고순도의 합성 석영 인프라레드 램프를 사용합니다. 이 램프는 파편이 생기지 않으며, 더러워지지도 않습니다.
왜 석영이 최적의 선택인가?
우리는 내구성이 강한 융합 실리카 석영을 사용합니다. 이 물질은 큰 열충격을 받아도 균열이 생기지 않으며, 불순물도 공기 중으로 유출되지 않습니다. 금속으로 된 히터의 경우 산화되거나 표면이 벗겨지는 문제가 있지만, 석영은 그러한 문제가 전혀 없습니다. 석영은 주변 공기를 단순히 가열하는 것이 아니라, 인프라레드 파동을 통해 에너지를 전달합니다. 이 덕분에 공기 흐름이 안정적으로 유지되고, 웨이퍼나 센서도 깨끗하게 유지됩니다.
적절한 전력 설정
전력을 그냥 강하게 켜서는 안 됩니다. 그렇게 하면 석영이 손상될 수 있습니다. 우리는 디지털 인프라레드 건조기 컨트롤러를 사용하여 전력을 서서히 높입니다. 빠른 주기로 전력이 변동하면 필라멘트가 손상될 수 있습니다. 저는 항상 PID 제어를 권장합니다. 이 방법이 온도를 안정적으로 유지하는 데 가장 좋습니다.
또 한 가지 주의할 점은 부품들 사이의 간격입니다. 고출력의 램프들은 엄청난 열을 발생시키므로, 부품들을 너무 가까이 배치하면 챔버가 손상될 수 있습니다. 반드시 냉각 팬이 전체 전력을 견딜 수 있는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 지지 구조물이 변형될 수 있습니다.
설치 및 유지보수
가장 좋은 점은, 이 램프들이 대부분의 인프라레드 배열에 그대로 사용될 수 있다는 것입니다. 우리는 정밀하게 맞는 커넥터를 사용하여 전기 접점을 단단히 유지합니다. 여기서는 전선이 느슨해지는 것을 절대 피해야 합니다. 느슨한 전선은 아크를 발생시키고, 그로 인해 그을음이 생깁니다. 청정실에서는 단 한 번의 아크만으로도 모든 것이 망가질 수 있습니다.
청소할 때는 간단하게 하세요. 이소프로필 알코올과 먼지가 없는 천만 사용하면 됩니다.
손가락 조심하세요! 석영 표면에 지문이 남으면, 열이 가해지면서 그 오일이 유리에 남게 됩니다. 이로 인해 ‘핫 스팟’이 생기고, 결국 램프가 예상보다 빨리 고장납니다.