MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

IR 가열을 이용한 MEMS 센서 웨이퍼의 건조 방법 MEMS 제조 과정에서 일해본 사람이라면, 습식 에칭이나 청소 후에 남은 수분을 제거하는 것이 얼마나 어려운지 잘 알고 있을 것입니다. 이는 매우 큰 문제입니다. 대부분의 사람들은 그냥 모든 것을 대류 오븐에 넣어...