생산 라인에서는 아주 작은 온도 변화만으로도 포토레지스트의 특성이 변해버립니다. 그로 인해 생산이 중단되고, 입자 수가 증가하며, 결함 검사 전에도 생산 효율이 떨어집니다. 저희는 이러한 변동성을 없애기 위해 적외선 히터를 개발했습니다. 이를 통해 리소그래피 공정이 항상 일정한 수준을 유지할 수 있습니다.
이 히터의 핵심은 일반적인 포토레지스트 화학물질의 특성에 맞게 설계된 단파 적외선 방출기입니다. 석영을 기반으로 한 구조 덕분에 에너지를 효율적으로 전달하며, 온도를 매우 정확하게 제어할 수 있습니다. 히터 본체는 표준형 핫플레이트에 잘 맞으며, 클린룸 등급 1–100에도 적합합니다. 또한 입자 발생을 완전히 방지할 수 있도록 설계되었습니다. 실제로, 수천 번의 주기 동안에도 온도가 안정적으로 유지되므로, 치명적인 오차를 방지할 수 있습니다.
먼저 공정의 안정성이 보장됩니다. 포토레지스트의 소성 온도를 더욱 정확하게 제어함으로써, 라인 간의 차이가 줄어들고 폐기물도 감소합니다. 히터가 설정된 온도에 빠르게 도달하고 그 온도를 잘 유지하기 때문에 에너지 사용량도 줄어듭니다. 24/7 운영을 위해 설계되었기 때문에, 계획되지 않은 가동 중단이나 비상 대응 비용도 줄어듭니다. 그 결과, 더 높은 생산 효율과 예측 가능한 가동 시간을 얻을 수 있습니다. 이 두 가지 요소는 생산 공장의 수익성을 높이는 데 큰 역할을 합니다.
대부분의 장비에는 설치가 간단하지만, 히터의 구조는 매우 섬세합니다. 교체하기 전에 방출기, 반사판, 센서 간의 거리를 반드시 확인해야 하며, 온도 제어 시스템이 히터의 반응 속도를 따라갈 수 있는지도 확인해야 합니다. 최적의 성능을 얻기 위해서는 약간의 조정 시간이 필요합니다.