熱の無駄遣いをやめよう：より良いIRフラックスを実現する秘訣
正直に言えば、半導体工場において熱を無駄にするというのは、まさにお金の無駄遣いに他なりません。これは非常に悔しいことであり、また、二酸化炭素排出量も増えてしまいます。ほとんどの場合、赤外線は機械の筐体の中に漏れてしまい、何の役にも立ちません。
そこで役立つのがアルミニウム製の反射板です。熱をそのまま放置するのではなく、それをウェーハや基板に戻してやるのです。
科学的な側面（簡単に説明）
確かに、磨かれたアルミニウム素材でも効果はあります。しかし、高精度の装置を使う場合は、もっと優れたものが必要です。私たちは、短波や中波の反射に適した表面処理を重視しています。アルミニウムはIRを効果的に反射するため、最適な材料です。高出力のランプと放物面形や楕円形のケースを組み合わせることで、熱エネルギーを集中させることができます。その結果、目標温度に到達するのがずっと早くなります。
「グリーン」な観点から見ると…
「グリーンファクトリー」というのは、単に一つの電球の問題ではありません。1日中稼働する何百もの加熱要素による総合的な負荷の問題なのです。温度を上げたり維持したりするために必要なエネルギーを減らせば、消費される電力量も減ります。これは単純に良いことです。同じ熱効果が得られる一方で、電気代や環境への影響は減ります。
知っておくべきトレードオフ
アルミニウムは軽量で、ランプの端から熱を奪うため、コネクタが焼損するのを防げます。しかし、アルミニウムには欠点があります。それは酸化するということです。腐食性のあるガスがある環境では、その美しい反射面が劣化してしまいます。その結果、熱密度が下がり、プロセスの精度が低下します。定期的に点検を行ったり、アノダイズ処理を施すことで、このような問題を未然に防ぐことができます。
購入する前のヒント
私たちが設計したこの反射板は、既存のIRアレイに直接取り替えられるように作られています。もし処理速度が低下しているようであれば、すぐに高価で高出力のランプを購入する必要はありません。まずは反射板をチェックしてみてください。ほとんどの場合、より清潔で効果的な反射性能の方が、より高い出力よりも優れています。