Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Warum die mit Gold überzogenen IR-Lampen tatsächlich funktionieren
In einer Halbleiterfabrik bedeutet jeder verschwendete Energiemenge Geldverlust. Die meisten IR-Lampen sind eher ineffizient – sie strahlen Wärme in alle Richtungen ab. Doch eigentlich ist nur die Oberfläche des Wafer wichtig.
Wir haben beschlossen, dieses Problem zu lösen. Durch das Aufbringen einer Goldschicht auf die Lampe zwingen wir die Physik dazu, in unserem Sinne zu wirken. Dadurch wird aus einem einfachen Strahler etwas viel Präziseres.
Warum Gold?
Es geht dabei nicht darum, etwas Schickes zu haben. Im Infrarotbereich ist Gold hervorragend, was die Reflexion angeht. Stellen Sie sich vor: Anstatt dass die Wärme zurück in den Chassis des Geräts fließt, fungiert die Goldschicht wie eine Wand. Sie lenkt die Photonen nach vorn. Dadurch trifft ein konzentrierter Energieschwall genau dort auf den Wafer, wo er benötigt wird.
Die richtige Fokussierung
Es handelt sich dabei nicht einfach um einen Spiegel, der auf einen Tubus aufgebracht wird. Wir legen großen Wert auf die Dicke und Reinheit dieser Goldschicht. So soll sichergestellt werden, dass die Kurzwellen-Infrarotenergie ungehindert durchdringen kann.
Das Ergebnis? Sie erreichen die gewünschte Prozesstemperatur viel schneller. Zudem erhöht sich die Wärmestärke erheblich. Das Beste daran: Sie müssen die Leistung der Stromversorgung nicht erhöhen, um das gewünschte Ergebnis zu erzielen.
Einige Dinge, die man beachten sollte
Da die Wärme viel schneller auf den Wafer trifft, muss man vorsichtig sein. Überprüfen Sie Ihre PID-Controller. Andernfalls kann es zu Überschreitungen oder thermischen Schocks kommen.
Außerdem kann die Lampe selbst schnell heiß werden, da sie so viel Energie abgibt. Überprüfen Sie unbedingt den Kühlstrom, damit die Enden der Tuben nicht beschädigt werden.
Wenn Sie eine alte Anlage aufrüsten wollen, ist das kein Problem. Die Lampen passen einfach direkt in die vorhandenen Anschlüsse. Verbinden Sie sie einfach mit der bestehenden Stromversorgung – dann können Sie sofort starten. Beobachten Sie während der ersten Tests genau die Sensoren an der Oberfläche. Sie werden den Unterschied in der Strahlung fast sofort bemerken.