Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält
Wenn man einen Reinraum der Klasse 100 betreibt, ist jede einzelne Staubpartikel ein echtes Problem. Ein kleiner Staubkorn oder etwas ausgasendes Material kann dazu führen, dass die Wafer oder optischen Komponenten unbrauchbar werden. Das ist frustrierend.
Die meisten herkömmlichen Heizelemente sind für dieses Problem verantwortlich – sie zerfallen, lösen sich ab und geben Chemikalien ab. Wir haben eine bessere Lösung gefunden: Wir verwenden hochreinen synthetischen Quarzrohre in Kombination mit Kohlenstofffaserverbundheizelementen.
Warum diese Kombination funktioniert
Wir haben hochreinen Quarz gewählt, weil er die Hitze ohne Risse oder Zerfall aushalten kann. Die Kohlenstofffasern werden außerdem vakuumversiegelt. Das ist der Schlüssel zur Effektivität – dadurch wird die Oxidation verhindert, die normalerweise dazu führt, dass Metallfasern mit der Zeit zerstört werden. Keine billigen Klebstoffe, keine seltsamen Beschichtungen – nur saubere, stabile Wärme, die keine Staubpartikel in die Luft freisetzt.
Leistungsdaten
Diese Lampen erreichen schnell eine hohe Wärmedichte. Dank des Kohlenstofffaserkerns muss man nicht lange warten, bis das Gerät vollständig erwärmt ist. Dadurch werden Zeit und Energie eingespart. Wir justieren die Leistung so, dass eine gleichmäßige Wärmeverteilung über das gesamte Substrat gewährleistet wird.
Ein Hinweis zur Stromversorgung
Infrarotlampen mit hoher Dichte benötigen viel Strom. Wenn Sie viele solcher Lampen installieren, überprüfen Sie unbedingt Ihre Verkabelung und Sicherungen. Sie möchten schließlich keinen Spannungsabfall während des Betriebs haben – sonst entsteht eine ungleichmäßige Erwärmung und viel verschwendetes Material.
Installation
Der Austausch dieser Lampen ist ziemlich einfach. Sie sind als Ersatz für die aktuellen Infrarotlampen konzipiert. Die Quarzkapsel wirkt wie ein Schutzschild und isoliert das Heizelement vollständig von der Luft im Reinraum.
Aber Achtung: Sie sind empfindlich. Hochreiner Quarz ist zwar fest, kann aber brechen, wenn man nicht vorsichtig ist. Eine unachtsame Bewegung während der Installation kann dazu führen, dass das Rohr zerbricht. Um das zu vermeiden, empfehle ich dringend den Einsatz von weichen Befestigungsbügeln. Dadurch hat das Material genug Platz, sich beim Erhitzen auszudehnen, ohne dass zu viel Druck auf das Glas ausgeübt wird.