Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie sicherlich das Problem der Partikelbildung. Ein einziger kleiner Splitter aus einem Heizelement kann dazu führen, dass die gesamte Charge ruiniert wird. Die meisten herkömmlichen Widerstandsheizungen eignen sich nicht dafür – sie geben Gase ab oder zerfallen. In einem Reinraum ist das natürlich eine Katastrophe.
Deshalb verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz-Infrarotlampen. Keine Splitter, keine Unreinheiten.
Warum Quarz funktioniert
Wir verwenden gefügten Siliziumquarz, weil er sehr widerstandsfähig ist. Er kann enorme thermische Belastungen aushalten, ohne zu reißen. Zudem gelangen keine Unreinheiten in die Luft.
Stellen Sie sich mal Heizungen mit Metallhüllen vor – diese oxidieren und zerfallen. Quarz tut das nicht. Er gibt Energie in Form von Infrarotwellen ab, anstatt einfach nur die umliegende Luft zu erhitzen. Das ist wichtig, denn so bleibt der Luftstrom konstant und die Wafer sowie Sensoren bleiben sauber.
Die richtige Leistung einstellen
Man kann die Leistung nicht einfach auf maximale Stufe stellen. Andernfalls könnte der Quarz zerbrechen. Wir verwenden einen digitalen Steuercontroller, um die Leistung langsam hochzufahren. Wenn es durch schnelle Schaltvorgänge zu Spannungsspitzen kommt, kann der Glühfaden beschädigt werden. Ich empfehle immer die PID-Steuerung – das ist die beste Methode, um eine konstante Temperatur zu gewährleisten.
Noch eines: Achten Sie auf den Abstand zwischen den Lampen. Diese Hochleistungsleuchten erzeugen viel Wärme. Wenn sie zu nah beieinander angebracht werden, kann das Chassis beschädigt werden. Stellen Sie sicher, dass Ihre Kühllüfter die gesamte Leistung bewältigen können – sonst können die Halterungen beschädigt werden.
Einrichten und weiterhin in Betrieb halten
Das Beste daran: Diese Lampen können problemlos als Ersatz für die meisten Infrarotlinien verwendet werden. Wir verwenden präzise passende Anschlüsse, damit der elektrische Kontakt stabil bleibt. Losse Kabel sind hier unerwünscht – sie verursachen Funken, und Funken wiederum führen zur Bildung von Ruß. In einem Reinraum kann bereits ein einzelner Funke alles zerstören, woran man gearbeitet hat.
Was die Reinigung angeht: Befolgen Sie einfach diese Regeln: Isopropylalkohol und fusselfreie Tücher sind ausreichend.
Seien Sie vorsichtig mit Ihren Fingern! Wenn Sie Fingerabdrücke auf dem Quarz hinterlassen, brennt das Öl beim Erhitzen in das Glas ein. Dadurch entsteht ein „heißer Punkt“, und schon bald versagt die Lampe früher, als es eigentlich nötig wäre.