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Einführung Seien wir ehrlich: In der Welt der Halbleiter ist es unverzichtbar, die Kosten niedrig zu halten. Und die Heizgeräte, die man wählt – das...

Im Aixtron MOCVD-Reaktor liegt das entscheidende Element für die Temperaturkontrolle. Wenn das Heizelement nicht mehr ordentlich funktioniert,...

Auf dem Fertigungsboden ist eine Drift von 0,5°C während des Soft Bake oder Hard Bake keine kleine Abweichung. Sie wirkt sich direkt auf den Ertrag...