Hören Sie auf, Energie in Ihrer Trockenlinie zu verschwenden!
Wenn Sie bereits eine Energieanalyse Ihrer Wafer-Trockenlinie durchgeführt haben, wissen Sie genau, wo das Problem liegt – nämlich in dem Abstand zwischen der Lampe und dem Substrat. Die meisten Standardreflektoren streuen die Infrarotenergie einfach überallhin. Anstatt auf das Wafer zu treffen, prallt ein großer Teil dieser Energie von den Wänden der Kammer ab. Das ist eine echte Verschwendung. Deshalb verwenden wir reflektierende Elemente mit Goldbeschichtung.
Warum Gold?
Es geht dabei um die Fähigkeit des Goldes, Infrarotlicht zu reflektieren. Gold ist besser darin, Langwellen- und Mittelwellenenergie zu reflektieren als Aluminium oder Edelstahl. Aluminium ist zwar nicht schlecht, doch es schafft es nicht mit der Hitze in der Produktionsumgebung umzugehen – es verliert dadurch seine Eigenschaften. Gold hingegen oxidiert nicht und bleibt somit konstant in seinen Eigenschaften. Das bedeutet, dass mehr Energie auf das Wafer trifft, anstatt auf die Wände.
Außerdem lenken wir die Energie gezielt nach vorne – in einen schmalen Strahl. Dadurch entsteht eine höhere Wärmestärke auf der Oberfläche des Wafers, ohne dass man die Leistung der Lampen erhöhen muss.
Die Nachteile
Gold ist natürlich teuer – daher werden die Anfangskosten höher sein. Doch man sollte dies als Möglichkeit betrachten, die Betriebskosten im Laufe der Zeit zu senken.
Es gibt noch einen weiteren Punkt: Gold ist empfindlich. Wenn in der Produktionsumgebung organische Stoffe oder chemische Dämpfe vorhanden sind, bildet sich eine Schicht aus Schmutz auf der Oberfläche des Goldes – dadurch wird die Reflektionsfähigkeit beeinträchtigt. Man muss die Reflektorelemente daher stets sauber halten – sonst verschwendet man nur Geld.
Einbau in die Produktionsanlage
Das Gute ist: Diese Reflektorelemente können in der Regel direkt als Ersatz für die herkömmlichen Reflektoren verwendet werden. Es ist nicht nötig, alles neu zu bauen. Man muss lediglich den Brennpunkt genau auf die Ebene des Wafers ausrichten. Dadurch wird die Erwärmung gleichmäßig über die gesamte 300-mm-Oberfläche verteilt – so entstehen keine heißen Punkte, die das Substrat beschädigen könnten.
Wenn Sie ein Trocknungssystem auswählen, sollten Sie nicht einfach weitere Lampen hinzufügen, nur weil Sie glauben, mehr Energie benötigen zu haben. Das würde nur eine enorme Belastung für das HVAC-System bedeuten. Konzentrieren Sie sich lieber auf die Effizienz der Reflektorelemente – bringen Sie die Energie dorthin, wo sie hingehört: auf das Wafer.