In der Katalysatorherstellung ist eine 15-minütige Trocknungsphase ausreichend, um alles zunichte zu machen, was man durch die letzte Anpassung des Tintensystems erreicht hat. Die Gleichmäßigkeit der Schichtstruktur verschlechtert sich, die Anzahl der Partikel nimmt zu – und die Katalysatorschicht erreicht niemals die gewünschte Porosität. Wir haben diese Trockenungslampe für Katalysatoren entwickelt, damit das nicht passiert.
Was wirklich wichtig ist: Die Lampe arbeitet mit Infrarotlampen – mit einem Spektrum, das darauf ausgelegt ist, den Lösungsmittel schnell zu entfernen, ohne die Struktur des Katalysators zu zerstören. Auf der gesamten Fläche der Wafer bleibt die Temperatur bei ±0,1°C konstant, und die Genauigkeit der Einstellungen liegt bei ±0,5°C. Die Leistung der Lampe bleibt auch bei 7×24-Stunden-Betrieb stabil. In der Praxis haben solche Geräte bereits mehr als 5.000 Stunden gearbeitet – ohne dass es zu einer Abnahme der Leistung von mehr als 5% kommt. Die Eigenschaften, die für ein Reinraumumfeld notwendig sind, sind bereits in das Gerät integriert. Es ist kompatibel mit Klasse 1–100, es kommen keine Partikel an die Prozessgrenze, und der optische Weg ist luftdicht abgeschlossen, sodass Ausgasungen und Kontaminationen vermieden werden.
Warum dies zum Prozess passt: Die Trocknung des Katalysators muss schnell, sauber und reproduzierbar erfolgen. Infrarotlicht ermöglicht eine sofortige thermische Reaktion – ohne Berührung – wodurch die Prozesszeit verkürzt wird, während die Struktur des Katalysators erhalten bleibt. Die präzise Temperaturkontrolle sorgt dafür, dass jeder Prozessschritt gleich verläuft.
Keine unplanmäßigen Stillstände sind kein bloßes Versprechen – sie resultieren aus einem guten thermischen Design, kontrollierten Temperaturverläufen sowie einer langen Lebensdauer der Lampe, was die Häufigkeit des Austauschs verringert. Das Ergebnis sind stabile Katalysatoreigenschaften, weniger Ausschuss sowie eine zuverlässige Produktionsleistung.
Praktische Hinweise: Die Lampe passt in Standardhalterungen – doch es muss trotzdem geprüft werden, ob die thermischen Bedingungen des Substrats ausreichen. Bei dicken oder hochthermischen Substraten muss die Leistungsdichte sowie die Einwirkzeit der Infrarotlampe genau eingestellt werden, damit es keine lokalen Überhitzungen gibt. Zudem muss die Anbindung an den Reinraum richtig gestaltet werden – die Belüftung und Abschirmung müssen den Anforderungen der Lampe entsprechen. Der Prozess ist nur dann reproduzierbar, wenn die Umgebungsbedingungen sowie die Kontrolle der Partikel korrekt sind.