晶圆烧伤测试加热灯

在烧录过程中，温度并非仅仅是一个需要调整的参数而已——它本身就是整个工艺流程的关键组成部分。哪怕温度偏差只有几度，都可能引发潜在的缺陷，或者导致本应可以正常出货的晶圆被误判为不合格品。因此，我们设计了专门的加热装置，以消除这种不确定性。 真正重要的因素是什么？ 该加热装置使用近红外光来对晶圆进行加...